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【政府采购意向】双倾角镀膜机
招标单位：
招标年份：
所属地区：
招标类型：
采购方式：
项目概况：
采购品目：A033499其他专用仪器仪表
预计采购时间：2022-11
项目基本情况：
项目名称：【政府采购意向】双倾角镀膜机
预算金额：650 万元
采购需求：
名称：双倾角镀膜仪 主要功能：该设备必须能够成熟用于超导约瑟夫森结的制备，整套超高真空多腔体电子束镀膜系统满足4英寸晶圆上的超导器件的制备，兼容2英寸晶圆以及其他小于4英寸的晶圆衬底。该系统至少包含真空连接的离子束刻蚀室、电子束蒸发室、氧化室三个腔室，全部腔体采用不锈钢制造。设备可以对晶圆衬底进行清洁、电子束蒸镀超导金属薄膜（例如铝膜）、超导膜层氧化、超导膜层刻蚀，从而用于超导约瑟夫森结的制备。样品传送、工艺处理、真空管理等流程全部自动化，同时还具有紧急停机、安全互锁、断电自我保护等功能。 采购数量：1套 质量：满足国家相关质量标准或原产地质量标准。 服务及时限：对相关的技术问题能在48小时内及时进行响应，并通过电话、传真、邮件等形式及时进行指导加以排除；若通过电话、传真、邮件等在5个工作日内仍不能解决问题：简单问题供方国内工程师3个工作日上门检修，复杂问题供方国外工程师3-6周内上门检修。
提交投标文件截止时间、开标时间和地点：
截止时间：2022-11-30 00:00
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