【政府采购意向】飞秒激光精密微纳加工系统

主要配置包括：飞秒激光光源和高精密微纳加工系统，其中高精密微纳加工系统主要包括精密三轴微控系统、样品平台、振镜模组、场镜模组、光学传输系统、CCD视觉系统、系统软件等。 1. 飞秒激光光源 1.1 激光器晶体类型：全固体晶体； 1.2激光波长：1030nm, 515nm, 343nm，可切换； 1.3平均功率：≥20W@50-1000kHz; 1.4脉冲宽度：≤290fs (高斯拟合)，并且可以通过电脑控制在290fs-10ps范围内可调; 1.5最大单脉冲能量：≥400μJ@1-50kHz； 1.6重复频率：单脉冲-1000kHz，通过软件自动调节; 1.7单脉冲能量稳定性（RMS）：≤0.5% rms over 24 h； 2 高精密微纳加工系统 2.1精密三轴微控系统 2.1.1位移行程：XYZ ≥250mm×250mm×50mm； 2.1.2平台幅面尺寸：≥100mm×100mm； 2.1.3最大速度： ≥200mm/s； 2.1.4重复定位精度(典型值)： ±0.12μm (XY)； 2.2样品平台 2.2.1 幅面尺寸：≥100mm×100mm; 附带工装夹具；铝阳极氧化； 2.3振镜模组 2.3.1波长：343nm；515nm；1030nm；（适用于不同波长的振镜相互独立） 2.3.2入射口直径：≥10mm； 2.3.3跟踪误差：0.15ms； 2.3.4振镜加工扫描速度：≥2000mm/s； 2.3.5定位速度：≥5000mm/s； 2.4 场镜模组 2.4.1适用波长范围：343nm；515 nm-545 nm；1030nm；（适用于不同波长的场镜相互独立） 2.4.2有效焦距：100mm； 2.4.3扫描区域：≥25×25mm； 2.4.4入射口直径：10mm； 2.4.5透过率：97%； 2.4.6光学扫描角度：±14.4°。 2.5 光学传输系统 2.5.1 45度反射镜组：镜组反射率不低于99%； 2.5.2镜组适用波长：343nm；515nm；1030nm；（适用于不同波长的反射镜组相互独立） 2.5.3系统包含精密反射镜架及调试治具调节装置； 2.6 CCD视觉系统 2.6.1像素：≥500万； 2.6.2分辨率：≥2448×2048； 2.6.3芯片尺寸：5.7×4.3mm； 2.7 系统软件 2.7.1可以实现运动平台部分自动精确控制； 2.7.2可以实现激光器包括功率参数在内的重要参数控制； 2.7.3可以实现激光器加工频率控制； 2.7.4软件部分集成功率计测试软件，可以用于激光器功率读取。 2.8备品备件、配件 2.8.1防护眼镜两套； 2.8.2工具箱一套； 2.8.3反射镜组镜架三套: 343nm；515nm；1030nm。 飞秒激光精密微纳加工系统需求为1台，质保期为12个月。