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吉林大学
教育部
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【政府采购意向】激光直写式光刻机
招标单位：
招标年份：
所属地区：
招标类型：
采购方式：
项目概况：
采购品目：A032103电子工业专用生产设备
预计采购时间：2022-11
项目基本情况：
项目名称：【政府采购意向】激光直写式光刻机
预算金额：160 万元
采购需求：
购买激光直写式光刻机1台，用于高温超导量子磁传感器芯片制备，主要技术指标：曝光分辨率优于0.6um，行程精度优于0.8um，曝光速率不小于10mm2/min，线宽均匀性优于200nm，最大曝光面积不小于150mm×150mm，工作台基片尺寸不小于6″×6″，基片双面对准精度优于500nm。工艺线质保期不低于1年。
提交投标文件截止时间、开标时间和地点：
截止时间：2022-11-30 00:00
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