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清华大学
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【政府采购意向】步进式光刻机

2022-12-21 16:55:17
云上高博会 https://heec.cahe.edu.cn
招标单位:
清华大学
招标年份:
2022 年
所属地区:
北京北京市
招标类型:
产品招标
采购方式:
公开招标
项目概况:

采购品目:A032103电子工业专用生产设备

预计采购时间:2022-11

项目基本情况:
项目名称:【政府采购意向】步进式光刻机
预算金额:3000 万元
采购需求:

拟采购步进式光刻机1套,把投影掩模版上的图形与涂胶硅片进行对准,而后从一点到另一点逐场曝光,8”及以下,分辨率0.28um,套刻35nm。其他要求:质保期至少1年。售后服务响应不超过24小时(不区分工作日和节假日)。

提交投标文件截止时间、开标时间和地点:
截止时间:2022-11-30 00:00
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