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清华大学
教育部
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清华大学探针台（含WAT）
招标单位：
招标年份：
所属地区：
招标类型：
采购方式：
项目概况：
清华大学探针台（含WAT） 招标项目的潜在投标人应在登记报名网址：http://sbcgczxxfb.sysc.tsinghua.edu.cn获取招标文件，并于2022年09月15日 10点00分（北京时间）前递交投标文件。
项目基本情况：
项目编号：清设招第2022228号
项目名称：清华大学探针台（含WAT）
预算金额：280 万元
采购需求：
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包号 |
名称 |
数量 |
是否允许进口产品投标 |
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01 |
探针台（含WAT） |
1套 |
是 |
设备用途介绍 ：本次采购的探针台（含WAT）将用于MEMS器件的实际研发过程中，通过自动控制芯片移动检测器件电学参数，实现整晶圆快速检测，快速监控工艺是否正常。
简要技术指标 ：
- 支持晶圆尺寸：8英寸兼容6英寸，支持全晶圆测试，具有WAT测试功能；
- 配置高精度定位器，定位精度：≤3.0μm；
- 探针臂接口≥8个：匹配相应磁性吸附的DC探针臂≥6个，RF探针臂≥2个；
- 升级为高低温探针台，温度控制范围：-60℃至300℃，可调节分辨率≤0.1℃；
- 配备自动测试软件，实现自动化测试，生成Map文件，自动对准晶圆。
合同履行期限：交货时间：合同签订后210日内
申请人资格要求：
1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
2.落实政府采购政策需满足的资格要求：
无
3.本项目的特定资格要求： 1）在中华人民共和国境内注册； 2）符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定的条件； 3）通过“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）和中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）查询信用记录（截止时点为投标截止时间），被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商，没有资格参加本项目的采购活动； 4）不接受联合体投标； 5）单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得同时参加同一包号的政府采购活动； 6）为某一包号提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加该包的其他采购活动； 7）必须在线登记获取招标文件，否则没有资格投标。
获取招标文件：
时间：2022年08月23日 至 2022年08月30日，每天上午8:00至14:00，下午12:00至16:30。（北京时间，法定节假日除外）
地点：登记报名网址：http://sbcgczxxfb.sysc.tsinghua.edu.cn
方式：登记报名网址：http://sbcgczxxfb.sysc.tsinghua.edu.cn
提交投标文件截止时间、开标时间和地点：
截止时间：2022-09-15 10:00
开标时间：2022-08-15 10:00
地点：北京市海淀区清华大学华业大厦实验室处1区5层第一评标室（清华大学东南门东侧，无须办理入校手续）。
公告期限：自本公告发布之日起5个工作日。
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