微型钻床

先进制造与自动化

随着微型机械电子系统（MEMS）这一学科的蓬勃发展，在微型器件上加工微型孔的需求越来越多。目前的实现手段，一是利用常规大中型钻床用传统机加工方式加工微小孔；二是采用激光钻孔。在常规钻床上加工，由于MEMS器件尺寸往往很小，加工时要设计特别的夹具；而且大中型设备在运行时，影响加工精度的因素不好控制，比如要保持恒温、恒湿、无低频振动等，导致加工成本高、加工周期长。激光钻孔对被加工材料的要求比较苛刻，一般的金属材料由于熔点低，用激光穿透时容易形成“喇叭口”导致加工失败。所有这些使得目

产业化应用