用双线阵CCD扫描成像快速测量激光光束质量的装置及技术

先进制造与自动化

可以量产/n该成果公开了一种双线阵CCD扫描成像快速测量激光光束质量的装置，包括计算机、电控平移台、设置在电控平移台上的手动角位台和设置在手动角位台上的安装有被测激光器的电控旋转台，还包括以被测激光器为中心顺时针依次设置的第二线阵CCD、面阵CCD和第一线阵CCD，第一线阵CCD与被测激光器的距离为Z2大于第二线阵CCD与被测激光器的距离为Z1。还公开了一种双线阵CCD扫描成像快速测量激光光束质量的方法。本发明通过双线阵CCD快速地获取大尺寸线状长条(水平方向×垂直方向为90°×2°)的激光光束的能

小批量或小范围应用

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