基于干涉条纹形状的二维小角度测量装置

先进制造与自动化

研发阶段/n本发明公开了一种基于干涉条纹形状的二维小角度测量装置，属于精密测量技术领域。该装置包括激光器、分光镜、目标反射镜、参考反射镜和四象限接收器，目标反射镜固定在被测物体上。激光调制器对激光器发出的光束进行调制，被调制的光束经分光镜后分为两束，这两束光分别经目标反射镜和参考反射镜反射后再返回分光镜，会聚产生动态干涉条纹，当被测物体绕ｚ轴有角度变化时，动态干涉条纹的宽度将发生变化，当被测物体绕ｘ轴有角度变化时，动态干涉条纹的宽度和方向同时改变。动态干涉条纹用四象限光电接收器接收后转为电信号，该信

小批量或小范围应用

200910061971