一种非接触式主动阻尼装置

其它领域

本发明公开了一种非接触式主动阻尼装置，包括阻尼器和驱动器两部分，阻尼器和驱动器电气连接，阻尼器包括固定不动的定子和与定子相分离的阻尼发生器，阻尼发生器相对于定子能够在一个方向上运动。阻尼装置由分离式动子和定子组成，通过主动控制方式调节驱动电路的驱动电流，从而实现阻尼力的主动控制。该阻尼装置能够实现对超精密减振器提供自适应变阻尼控制，有效地衰减减振台的高频振动。本发明可以为光刻机及其他的精密设备提供超静的环境。本发明提供的阻尼装置可用作小型超精密设备、精密仪器的基础支撑。将本发明提供的阻尼装置与空气弹

未应用