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基于硅基悬臂梁T型结直接加热在线式毫米波相位检测器

2021-04-14 00:00:00
云上高博会 https://heec.cahe.edu.cn
关键词: 波相位检测
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所属领域:
电子信息
项目成果/简介:

本发明的基于硅基悬臂梁T型结直接加热在线式毫米波相位检测器,主要由悬臂梁耦合结构、T型结和直接加热式微波功率传感器构成。悬臂梁耦合结构中,两个悬臂梁在CPW中央信号线上方,结构相同,用于耦合部分待测信号,通过锚区与T型结相连,两个悬臂梁之间CPW传输线的电长度为λ/8。悬臂梁下方的CPW中央信号线上覆盖了一层Si3N4介电层,用于防止电学短路。参考信号通过T型结分成两路信号,分别与两路悬臂梁耦合的信号通过T型结合成,T型结的输出端连接到直接加热式微波功率传感器进行功率检测。最后根据两个直接加热式微波

项目阶段:
小批量或小范围应用
知识产权编号:
2017100526097
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