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硅基微机械悬臂梁耦合直接加热在线式毫米波相位检测器

2021-04-14 00:00:00
云上高博会 https://heec.cahe.edu.cn
关键词: 毫米波相位
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所属领域:
电子信息
项目成果/简介:

本发明的硅基微机械悬臂梁耦合直接加热在线式毫米波相位检测器,实现结构包括悬臂梁耦合结构、功率合成/分配器和直接加热式微波功率传感器。悬臂梁耦合结构左右对称,两个悬臂梁在CPW中央信号线上方,结构相同,用于耦合部分待测信号,通过锚区与功率合成器相连,两个悬臂梁之间CPW传输线的电长度为λ/8。悬臂梁下方的CPW中央信号线上覆盖了一层Si3N4介电层,用于防止电学短路。参考信号通过功率分配器分成两路信号,分别与两路悬臂梁耦合的信号通过功率合成器合成,功率合成器的输出端连接到直接加热式微波功率传感器进行功

项目阶段:
小批量或小范围应用
知识产权编号:
2017100526379
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