一种纳米位移执行器

2021-04-14 00:00:00

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关键词：纳米位移执行器

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所属领域:

电子信息

项目成果/简介:

本发明是一种纳米位移执行器，在衬底（３）的上表面依次设有氧化石墨烯薄膜（２）、薄膜上方承载面（１）构成一个位移传动的承载体，其中薄膜上方承载面作为位移传动的承载面；在所述位移传动的承载体的两端分别设有左密封腔体的密闭墙（４）、右密封腔体的密闭墙（５），在左密封腔体的密闭墙的外端设有环境气氛输出控制管道口（６），在右密封腔体的密闭墙的外端设有环境气氛输

项目阶段:

小批量或小范围应用

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