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多晶硅铸锭炉的隔热块及包括该隔热块的多晶硅铸锭炉

2021-04-14 00:00:00
云上高博会 https://heec.cahe.edu.cn
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所属领域:
新能源与节能环保
项目成果/简介:

本发明公开了一种用于多晶硅铸锭炉的隔热块，设置在多晶硅

铸锭炉的坩埚底部外周，用于坩埚加热或冷却多晶硅过程中的隔热保

温，该隔热块为中空方形筒体结构，筒体筒壁为中空夹层结构，其中

内壁用于包覆设置在坩埚底部的热交换块外周壁面，且该内壁与所述

热交换块外周壁面具有间隙，所述外壁用于与设置在坩埚外围的竖直

隔热板固定接触，所述坩埚中心线、热交换块中心线以及隔热块中心

线重合，且所述隔热块顶部低于热交换块顶部。本发明还公开了具有

项目阶段:
试用
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