一种半导体电阻式气体传感器及其制备方法

高端装备制造

本发明公开了一种半导体电阻式气体传感器及其制备方法。气

体传感器包括绝缘衬底、信号电极和气敏层；气敏层由半导体纳米晶

复合材料和石墨烯构成。利用胶态法合成半导体纳米晶溶液，能在室

温下直接成膜，不需要经过高温处理，能耗小，且不会造成纳米颗粒

的团聚，能够最大限度地发挥纳米颗粒比表面积大的优势，有利于气

体吸附，提高传感器的灵敏度，使传感器能在较低的工作温度甚至常

温下检测低浓度目标气体。制备方法简单，易于实现大规模批

未应用