基于石墨烯-碳纳米管复合结构的热喷印头及其制备方法

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本发明公开了一种基于石墨烯-碳纳米管复合结构的热喷印头及

其制备方法，采用 ICP 工艺以及 PDMS 填充深沟的表面平坦化工艺，

在硅片衬底上制备主通道、喷墨腔室、进墨通道、喷嘴、喷墨通道；

采用阳极键合工艺，以石墨烯碎片作为中间层，将玻璃基底和硅片衬

底键合。主通道和喷墨腔室通过进墨通道连通，进墨通道深度小于喷

墨腔室深度；喷嘴设置在喷墨腔室底部；碳纳米管-石墨烯复合结构微

气泡发生器阵列和碳纳米管温度传感器阵列

未应用