一种成分连续渐变的半导体合金薄膜及其制备方法和应用

新一代信息技术

本发明公开了一种成分连续渐变的半导体合金薄膜及其制备方

法和应用，其中该薄膜的特征有：薄膜为三元硫硒化合物合金，硒成

分在 X 轴方向能够连续渐变，在 Y 轴方向和 Z 轴方向基本不变；该成

分连续渐变的半导体合金薄膜作为良好的光吸收层被用于薄膜太阳能

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电池阵列和光电探测器。其制备方法包括：(1)选取沉积衬底；(2)准备

蒸发源；(3)制备半导体合金薄膜。本发明提出的方法能够在同一条件

下沉积成分大范围连

未应用