一种固定音圈电机直驱式 X-Y 微动平台

其它领域

本发明涉及一种直线电机直驱的二维微动平台，为一种固定音圈电机直驱式 X-Y 微动平台，包括基座、音圈直线电机、X 向运动平台、Y 向运动平台、解耦部件和光栅尺等。音圈直线电机直接驱动 X-Y二维微动平台；X 方向和 Y 方向音圈直线电机均固接于底座，通过解耦部件实现 X 向和 Y 向的运动；利用光栅尺来检测电机位置。本发明为提高运动速度和运动精度，屏弃了传统的旋转电机传动机构，采用直线电机直接驱动；为降低运动惯量，设计了解耦部件，X、Y 向直线电机均固定来实现 X-Y 二维运动；为实现高精度、高稳定

未应用