纳米尺度下大面积散射场的快速测量方法及装置

其它领域

本发明公开了一种纳米尺度下快速大面积海量散射场测量的装 置，包括:起偏端，用于将光束进行调制得到一定偏振态的光束;检 偏端，用于将偏振态光束进行解调以获得样品信息;还包括物镜和第 一透镜，待测样品位于物镜的前焦面上，偏振态光束经过该第一透镜 聚焦在物镜的后焦面，待测样品散射光被物镜收集并成像于其后焦面， 进而成像于图像采集装置上;以及扫描振镜，用于使得所述物镜出射 到样品上的光束角度改变，获得待测样品不同入射角下的散射场分布 图像，实现对待测样品纳米尺度下的快速精确的形貌测量。本发明还 公开了相应的

产业化应用