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一种低刚度的磁悬浮重力补偿器及微动台结构

2021-04-14 00:00:00
云上高博会 https://heec.cahe.edu.cn
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所属领域:
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项目成果/简介:

本发明属于重力补偿结构相关技术领域,其公开了一种低刚度 的磁悬浮重力补偿器,其包括动子结构及定子结构,动子结构包括外 永磁阵列环、内永磁阵列环及动子支撑框架,外永磁阵列环及内永磁 阵列环分别设置在动子支撑架的环形槽相对的两个侧壁上,内永磁阵 列环的厚度大于外永磁阵列环的厚度;定子结构包括收容于环形槽内 的线圈支架及嵌设在线圈支架上的定子永磁环,所述定子永磁环的高 度大于厚度,定子永磁环与内永磁阵列环的间距小于定子永磁环与外 永磁阵列环的间距。本发明还提供了具有上述的磁悬浮重力补偿器的 微动台结构。本

项目阶段:
产业化应用
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