一种六自由度微振动抑制平台及其控制方法

其它领域

本发明的六自由度微振动抑制平台，包括基础平台、负载平台、 完全相同的六套单自由度主被动复合隔振装置以及控制器，每套单自 由度主被动复合隔振装置上下两端分别与负载平台和基础平台连接。 本发明的控制方法，包括计算逻辑轴信号、计算逻辑轴控制信号、计 算物理轴实时控制信号和传递步骤。本发明结构简单，刚度可调，能 够对 X 轴、Y 轴、Z 轴的平动方向及转动方向的六自由度微振动进行 抑制和隔离，能够适合不同的场合，可以有效的衰减不同频段的微振 动，为微振动环境下的精密加

产业化应用