一种异质结近红外光敏传感器及其制备方法

2021-04-14 00:00:00

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关键词：红外光敏传感器

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所属领域:

其它领域

项目成果/简介:

本发明属于光电子领域，涉及一种异质结近红外光敏传感器及其制备方法。是由热蒸发气相沉积法

制备的碲锌氧复合物与 p-Si 形成的异质结光敏传感器，包括 p 型硅衬底，碲锌氧复合物，顶电极和底电

极。其关键在于碲锌氧复合物的制备。这种新型的传感器表现出了波段可调的稳定优良的光敏探测性能，

可探测波长从紫外-可见-近红外波段调节至限定在 1040nm 的近红外波段

项目阶段:

未应用

知识产权编号:

201510437074.6

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