带气浮导轨的波纹管式气动伺服执行器

先进制造与自动化

Ø  成果简介：采用金属波纹管作为执行元件，金属波纹管安装在载物台上，将输入压力变为位移的线性输出；载物台安装在气浮导轨上，气浮导轨通过外部输入的压力气体在气浮导轨定子和动子之间形成一层气膜，从而形成了一个润滑层，使得气浮导轨动子可以无摩擦运行，从而使气动伺服执行器获得较高的运动精度和定位精度。

Ø  项目来源：自行开发

Ø  技术领域：先进制造技术

Ø  应用范围：采用气压驱动的高速

未应用