大面积减反射膜技术

新材料及其应用

溶胶-凝胶工艺制备的纳米多孔SiO2薄膜具有结构可控、折射率可调、激光损伤阈值高、光学特性良、成本低廉、工艺简单等优点，因此可以获得很好的减反射性能，在强激光、太阳能、大屏幕显示系统具有很好的应用前景。 本项目组长期从事溶胶-凝胶法制备光学薄膜材料的研究，在结构可控的多尺度多孔氧化物薄膜的控制方面已积累了丰富经验。对结构可控光学薄膜的研制，在其制备技术及光学特性等方面进行了大量有益的尝试。特别是在薄膜机械强度方面，进行了大量新的探索，采用碱/酸两步催化法的制备工艺技术，结合紫外光辐照、水和氨混合蒸汽的热处理、钢化处理，初步得到了溶胶-凝胶光学薄膜的结构强化效应。 近年来本项目组所开发的减反射光学薄膜在太阳能电池、非线性光学晶体、展柜玻璃等得到了项目应用。此外，还开展了一系列的减反射薄膜的工业化生产中试实验，进行了大量工艺的扩大化实验。制备的大尺寸减反射薄膜除优良的光学性能外，还表现出非常出色的机械性能和耐侯性，适合户外环境中的使用。

所研发的减反射光学薄膜可以应用在太阳能电池、非线性光学晶体、展柜玻璃和大屏幕显示系统等。

中试

（1）采用碱/酸两步催化法的制备工艺技术，结合紫外光辐照、水和氨混合蒸汽的热处理、钢化处理，初步得到了溶胶-凝胶光学薄膜的结构强化效应； （2）通过一些放大试验，获得了200 mm×200 mm、1500 mm×1000 mm等较大尺寸的性能良好的宽带减反射薄膜（见下图）； （3）开展了一系列的减反射薄膜的工业化生产中试实验，进行了大量工艺的扩大化实验。制备的大尺寸减反射薄膜除优良的光学性能外，还表现出非常出色的机械性能和耐侯性，适合户外环境中的使用。