ZnGeP2晶体的腐蚀剂与腐蚀方法

新材料及其应用

一种ZnGeP2晶体的腐蚀剂，由冰醋酸、氢氟酸、硝酸、碘和纯净水配制而成，冰 醋酸、氢氟酸、硝酸、纯净水的体积比为：冰醋酸∶氢氟酸∶硝酸∶纯净水＝1∶2∶2∶ 1，碘的质量∶冰醋酸体积＝4∶1。一种ZnGeP2晶体的腐蚀方法，使用上述腐蚀剂，工 艺步骤依次为：(1)腐蚀，将ZnGeP2晶片浸入腐蚀剂中，在超声波振荡下于常压、室 温腐蚀4～16分钟取出；(2)清洗，将从腐蚀剂中取出的ZnGeP2晶片浸入反应终止液 中摆动清洗终止反应，再用纯净水清洗至中性，所述反应终止液由质量浓度5％的NaOH 和质量浓度为3％的Na2S2O3配制而成，NaOH与Na2S2O3的体积比＝1∶1；(3)干燥。

产业化应用