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一种深硅刻蚀方法
本发明公开了一种深硅刻蚀方法,包括如下步骤:(1)在硅片表面制备图形化的光刻胶掩膜;(2)对硅片进行深感应耦合等离子体干法刻蚀,包括多个刻蚀阶段,每个刻蚀阶段均在感应耦合等离子体机内,通过钝化、轰击和刻蚀三个步骤交替循环加工完成,随着刻蚀深度的增加,各刻蚀阶段中轰击步骤的轰击强度逐渐增强。本发明有效解决了现有技术中侧壁垂直度及粗糙度难以控制以及大刻蚀深度难以实现的问题,在提高刻蚀效率的同时,提高了对光刻胶的选择比,刻蚀槽侧壁垂直度高,粗糙度小,刻蚀深度大。
华中科技大学 2021-04-14
一种变频空调负荷群的一致性控制方法
本发明公开了一种变频空调负荷群的一致性控制方法,如下:给出领导智能体变频空调的温度改变量并采用一致性算法将其传递给其他智能体变频空调;判断修改后的温度是否超过预设温度区间,若超过则将温度设为预设温度区间上限或下限,若未超过则直接设为修改后的温度;计算变频空调温度下应该保持的压缩机频率并得出其功率;计算变频空调群目标功率与实际功率的差值,若其绝对值小于允许误差值则结束,若其不小于允许误差值则根据该差值修正领导智能体变频空调的温度改变量并重复上述步骤。本发明提出的一种变频空调负荷群的一致性控制策略,充分
东南大学 2021-04-14
一种应用于水产养殖的投饵增氧一体装置
本实用新型提供一种应用于水产养殖的投饵增氧一体装置,包括氧气浓度传感器、单片机、增氧泵 开关、增氧泵、投饵装置、供电系统,所述氧气浓度传感器连接到单片机,所述增氧泵通过增氧泵开关 连接到单片机,所述投饵装置包括储存室、若干投饵阀门,所述投饵阀门呈网状分布在所述储存室底部, 投饵阀门连接到单片机。当水体的氧气浓度低于预设的阈值时,单片机向增氧泵开关发送指令,控制增 氧泵开启运行向池塘水体供氧,当单片
武汉大学 2021-04-14
一种 GPU 上基于内存统一管理的 MapReduce 实现方法
本发明公开了一种 GPU 上基于内存统一管理的 MapReduce 实 现方法,包括:初始化 GPU 的块大小为 Bs,每个块中的线程数目 N, 输入数据量大小 M;在全局内存上为 GPU 的每个块分配一个中间数据 缓冲区,同时分配一个全局结果缓冲区;对 p%的输入数据进行预处理, 在中间数据缓冲区中收集 map 任务计算结果和归约频率信息;根据键 值对的归约频率,对中间结果进行排序,保存键值对索引信息到排序 结果缓
华中科技大学 2021-04-14
一种基于高频信号注入的双三相永磁电机系统故障诊断方法及系统
本发明公开了一种基于高频信号注入的双三相永磁电机系统故障诊断方法及系统,通过分析故障前后基波分量、谐波分量和零序分量之间的关系,准确定位故障;然后,采用高频信号注入来区分开路与电流传感器故障;最后,判断故障位置和类型,并输出;上述过程中设计了基于遗忘因子的最小二乘法对故障定位指数进行预处理,利用频率跟踪算法提取高频电流响应的幅值,用于判定故障类型。本发明解决了双三相永磁同步电机开路故障与电流传感器故障诊断与识别的问题,仅利用控制系统中现有的电流信号进行故障诊断,无需安装额外的硬件。方法简单且具有很强的鲁棒性,为故障后提高硬件利用率和容错性能提供了可能。
南京工程学院 2021-01-12
西北工业大学黄维院士团队在二维材料柔性力学传感方面取得系列进展
近日,西北工业大学黄维院士团队王学文教授课题组在二维材料的制备、力学电学性能及柔性力学传感应用方面取得系列进展。
西北工业大学 2021-12-01
一种含分子筛的加氢脱硫催化剂
本成果在世界上首次将"AIPO4" 、"TIO6"和"Si04"单元以规整结构的形式引入柴油加氢精制催化剂载体中,使催化剂具有更加优良的表面化学性质,促进硫、氮、芳烃的同步脱除。成果从2010年陆续在大庆石化、乌鲁木齐石化、辽阳石化柴油加氢精制装置实现工业应用,成功生产出符合国IV、国V柴油质量标准的清洁柴油,为我国柴油的质量升级提供了有力的技术支撑,取得了良好的经济效益和社会效益。
中国石油大学(北京) 2021-02-01
一种构建蔷薇科原始染色体的方法
本发明提供了一种基于生物信息学的方法构建蔷薇科原始染色体的方法及其应用。本发明方法是通过对比苹果、草莓和梅花三个蔷薇科已知基因数据,鉴定同源基因,确定参考物种染色体间关系,确定已测序物种与参考物种染色体间关系,从而构建蔷薇科原始染色体和确定测序物种从祖先染色体的进化历史。
北京林业大学 2021-02-01
一种可语音提醒的老年人智能手表
本实用新型提供一种可语音提醒的老年人智能手表.所述可语音提醒的老年人智能手表,包括:手表本体;第一支撑块,所述第一支撑块固定于所述手表本体的右侧的底部;调节装置,所述调节装置设置于所述手表本体的右侧的顶部,所述调节装置包括第二支撑块和第一转动轴;第一固定带.本实用新型提供的可语音提醒的老年人智能手表具有手表的表带在佩戴时松紧可以调节的与手腕更加的适合,不会出现太松或者太紧的情况,且佩戴操作简单方便,且该智能手表设置有电子显示屏可以显示时间,字体大,老人便于观看,家属可将手表和手机相连,录制语音提醒并按时在手表上播放,可以插电话卡,可以联网,自动更新时间,可以一键紧急呼叫联系人.
杭州电子科技大学 2021-05-06
一种基于Hadoop的海量矢量数据划分方法及系统
本发明涉及一种基于Hadoop的海量矢量数据划分方法及系统。该方法包括:基于Hilbert空间填充曲线对空间数据集中的空间要素进行空间编码;通过Map函数和Reduce函数实现空间要素的键值化,并生成空间数据样本信息集;根据所述空间数据样本信息集生成空间数据划分矩阵;根据所述空间数据划分矩阵将各个空间要素划分入对应的存储数据块中,同时将相邻数据块分发至同一集群节点上。本发明系统将Hilbert空间填充曲线引入到数据抽样和划分规则中,充分考虑空间数据相邻对象的空间位置关系、空间对象的自身大小以及相同编码块的空间对象个数等影响要素,不仅保证了样本信息集的空间分布特征,提高了海量矢量数据的空间索引效率;同时也保证了基于HDFS数据块存储的负载均衡。
中国农业大学 2021-04-11
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