一种石墨烯图形化掺杂方法
本发明公开了一种石墨烯图形化掺杂方法,包括如下步骤:(1) 将氦气与掺杂气体混合作为工作气体导入等离子体发生装置中,施加 高压脉冲电压,在工作气体中放电产生室温常压等离子体,将形成的 等离子体由引导管的喷嘴导出,形成微等离子体射流;(2)将喷嘴对 准石墨烯薄膜的指定位置,用微等离子体射流对石墨烯薄膜进行辐照, 将工作气体的活性原子掺入到被辐照的区域,在二维平面内移动微等 离子体射流或石墨烯薄膜,实现对石墨烯的图形化掺杂。该方法可有 效地将杂质原子掺入到石墨烯的骨架位置上,且不会对石墨烯的原本 结构产生破坏,掺杂过程简单易行,设备成本低廉,可实现大规模生 产。
华中科技大学
2021-04-13