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光学散射测量中粗糙纳米结构特性参数的测量方法
本发明公开了一种光学散射测量中粗糙纳米结构特性参数的测 量方法，可以对 IC 制造中所涉及纳米结构的结构参数和粗糙度特征参 数进行非接触、非破坏的测量。首先，通过仿真分析的手段，选出最 优测量配置与最优等效介质模型；其次，将上述仿真结果运用于实际 纳米结构的测量，包括：在最优测量配置下，对实际纳米结构进行光 学散射测量，获得测量光谱；运用基于最优等效介质模型的参数提取 算法，对测量光谱进行分析，获得提取参数的数值；通过提取参数与 待测参数间稳定性最佳的映射关系式对提取参数进行映射，获得待测 参数的数值。
华中科技大学
2021-04-11
维意真空多靶高真空磁控溅射镀膜机支持定制
MS-450高真空多靶磁控溅射镀膜机
真空腔室：直径450✕H400mm，1Cr18Ni9Ti优质不锈钢材质，氩弧焊接，前开门结构；
真空系统：机械泵+分子泵（进口和国产可选）；
极限真空：优于5✕10-5Pa（经烘烤除气后）；
真空抽速：大气～8✕10-4Pa≤30min；
升降基片台：2～6英寸基片台，靶基距60～120mm连续在线自动可调，旋转0～20r/min可调，可加热至500℃（可选水冷功能），可选配偏压清洗功能；
磁控靶：直径3英寸2～4只（可升级成直径4英寸靶2～3只），兼容直流和射频，可以溅射磁性材料的靶材；
溅射电源：直流脉冲溅射电源、全自动匹配的射频溅射电源可任选；
质量流量计：2～3路工艺气体，可根据工艺要求增加；
膜厚监控仪：可选配国产或进口单水冷探头膜厚仪；
控制方式：PLC+触摸屏控制系统，具备漏气自检与提示、通讯故障，实现一键抽停真空。
北京维意真空技术应用有限责任公司
2025-04-25
维意真空手套箱金属有机蒸发镀膜机支持定制
SEV-400手套箱金属有机蒸发镀膜机
真空腔室：采用立式方形结构，前门为水平滑开式，位于手套箱体内部，前开门便于蒸发材料和样片在保护环境下装卸，后开门便于真空室的清理维护（后门带锁紧装置在充气条件下保持腔室密闭与大气环境隔离），整机位于手套箱体下面，节约占地面积；
真空系统：国产分子泵作为主抽泵，真空极限高达2.0✕10-5Pa，另可选进口磁悬浮分子泵或是低温泵作为主抽泵，真空极限高达3.0✕10-6Pa；
真空抽速：大气～5✕10-4Pa≤30min（手套箱环境中）；
基片台：最大120mm基片/15～25mmITO/FTO玻璃25片，可定制一体化高精度刻蚀掩膜板，基片台公转，转速0～20r/min可调，衬底可选择加热（室温～300℃可调可控）或水冷，基片台可选升降，源基距最大350mm；
蒸发源及电源：4～6组欧美技术金属或有机束源炉蒸发源可选，多元共蒸获得复合膜/分蒸获得多层膜，功能强大，性能稳定；真空专业蒸发电源，恒流/恒功率控制，电流、功率可以预先设置，可实现一键启动和停止的自动控制功能；
膜厚监控仪：采用国产或进口膜厚监控仪在线监测和控制蒸发速率、膜厚；
控制方式：PLC+触摸屏控制系统，具备漏气自检与提示、通讯故障，实现一键抽停真空。
北京维意真空技术应用有限责任公司
2025-04-27
一种电容分压器的误差测量方法、系统及应用
本发明提供一种电容分压器的误差校验方法，通过测量其比差 和角差实现对该电容分压器的误差校验，其特征在于，该方法具体步 骤为：将被测高电压由标准电压互感器变为适于数据采集的第一低电 压（U1）；将被测的电容分压器（4）所分出的电压转换为适合于数据 采集的第二低电压（U2）；将所述第一低电压（U1）和第二低电压（U2） 同时送入信号处理电路进行模拟和数字信号处理，获得比差和角差， 即可完成误差校验。本发明还公开一种误差校验系统以及其在电子式 互感器中的应用。本发明的方法和系统可以对电容分压器的比差和角
华中科技大学
2021-04-14
微孔自动测量仪
目前，实现对微孔测量的方法有多种，传统方法是操作者通过工具显微镜观察微孔的放大图像，利用人工进行测量。这种方法有效率低，精度不足，稳定性差等缺点；也有采用CCD摄像头，用它将放大后的微孔图像通过图像采集电路输入到计算机中，通过手工鼠标划线或刻度尺等方法确定微孔孔径的起始点和终止点位置，进而计算得到微孔孔径，这种方法虽然提高了测量精度，但它仍未实现自动测量功能，存在着操作繁琐，效率低等缺点。 我们采用数字图像处理技术实现对微孔孔径自动测量的方法，并可以有效地减少微孔周围的椒盐噪声对测量精度的影响。具体操作方法中要操作人员将放大调焦后的微孔图像显示在计算机的屏幕上（显示位置无任何要求）并且按测量按钮即可完成微孔的测量。 一、主要技术指标 1.测量范围： 5um-400um 2.测量重复性：±2um（400um测量范围下） 3.可以进行打印 4.可以进行处理前或处理后图像的存储以及打印 5.可以自动生成数据库 二、适用范围 1．适用于孔类器件的快速测量 2．改进后适用于孔类器件的全自动实时测量
上海理工大学
2021-04-11
热电系数测量仪
热电系数测量仪又称热电仪，用于测量某些材料的热电系数（塞贝克系数）。本仪器是根据地质、矿业、物探、半导体科研院所的需求而研制的新型自动化数字化热电系数测量仪，用于测量具有半导体特性的各种矿物，如黄铁矿等及一般半导体材料的热电系数和导型（N型、P型）。本仪器适合于矿业、地质、物探、半导体等有关科研院所和高等学校使用。典型型号BHTE-06、BHTE-08特别适合测量直径在0.1-1.0mm之间的微小晶体的热电系数和导型。本仪器已获得了较广泛的实际应用，用户满意度为100%，返修率为零。 技术性能和指标：1. 数字化、自动化测量，与笔记本（或台式）计算机配合，实现无纸化测量和记录；数据自动显示及保存成便于统计分析的格式，不需要用户在纸上作任何记录；适合大批量样本的快速测量；2. 活化温度和量程可设定；3. 读数分辨力：0.1μV/℃；4. 可方便地测量直径小至0.1mm的矿物颗粒；5. 测量效率高，操作熟练后一般可达10～15粒/分；6. 方便携带，可随身带到矿区现场使用。
北京航空航天大学
2021-04-13
鼻根高度测量仪
本实用新型提供一种鼻根高度测量仪，由标尺、支架、横杆、卡槽、支架螺帽组成，横杆连接标尺、支架，标尺在中央，支架在两侧呈“山”字形。所述支架在固定在双眼内眦，支架之间的距离即为眼裂宽度。所述标尺在测量时在内眦连线的垂直方向上移动，杆部与鼻根部接触，鼻根高度即为标尺在垂直方向上移动的距离。本实用新型很好的适应鼻根部的形状，支架能在垂直方向上稳定的固定在两侧内眦部，标尺能直观的读出刻度，即鼻根在两眼内眦连线上的垂直高度。本实用新型设计合理，操作更加方便，测量更加准确，更适合鼻根部这一特定部位的测量。
浙江大学
2021-04-13
智能化电声测量
电声产品的计算机辅助测量(CAT)是近年来国际音频界的技术热点。中国是电声大国，有众多的电声企业，电声产品的一致性检测和寿命试验是企业检验产品质量的关键环节， 能更迅捷准确实现智能化电声测量的虚拟仪器有着广阔的应用前景。 南京大学音频声学研究室对智能化电声测量课题进行了研发，已获得了一项国家专利，申请了三项国家发明专利；已开发出两套虚拟测控电声测量仪器，适用于电声器件生产企业。
南京大学
2021-04-14
无线充电参数测量装置
本实用新型涉及无线供电技术，具体涉及无线充电参数测量装置，包括源端电能变换模块、电磁场 发射单元、电磁场接收单元、负端电能变换模块、负载、负端数据采集单元、负端数据处理中心、负端 通讯模块、源端数据采集单元、源端通讯模块、源端数据处理中心；电磁场发射单元与电磁场接收单元 通过电磁场进行能量传递，负端通讯模块与源端通讯模块通过无线方式进行信息传递。该无线充电参数 测量装置能够实时监测测量系统的负载的变化情况，调节共振频率，从而提高测量系统的稳定性
武汉大学
2021-04-14
骨盆测量示教模型
XM-F24骨盆测量示教模型
一、功能特点：
■ XM-F24女性骨盆测量示教模型采用高分子材料制成，仿真度高。
■ 模型为女性成人骨盆，真实尺寸大小，解剖结构精确。
■ 包括髋骨、骶骨、骶岬、尾骨、坐骨棘、坐骨结节、骶髂关节、髂耻隆突、耻骨联合及第4、5腰椎等结构。
■ 可显示骨盆腔的三个平面：骨盆入口平面、中骨盆平面、骨盆出口平面。
■ 骨盆测量示教：入口前后径、入口横径、入口斜径、小平面前后径、坐骨结节间径。
二、标准配置：
■ 女性骨盆测量操作模型：1个
■ 说明书：1册
■ 保修卡合格证：1张
上海欣曼科教设备有限公司
2021-08-23