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半导体设备超洁净流控系统及其受制约流控零部件
浙江大学聚焦超洁净流控系统基础研究、技术攻关和产品研发,攻克了影响光刻分辨率、良品率与产率的1mk级温度测控、5ppt级金属离子测控、20μm级气泡测控、50nm级残留液膜测控等关键核心技术 一、项目分类 关键核心技术突破 二、技术分析 如何通过超洁净流控技术降低流控污染,减少曝光缺陷,提升曝光良率,是国产高端半导体制造装备研制面临的重大挑战,直接关乎整机产品的产线应用性能与市场竞争力。此外,作为各类半导体制造装备的共性核心零部件,超洁净流控部件市场被美国、日本等国垄断,使我国半导体制造装备产业面临核心零部件“卡脖子”风险。浙江大学流体动力与机电系统国家重点实验室启尔团队所承担的高端半导体制造装备核心分系统之一的超洁净流控系统,自2004年以来在国家863计划和国家02专项支持,聚焦超洁净流控系统基础研究、技术攻关和产品研发,攻克了影响光刻分辨率、良品率与产率的1mk级温度测控、5ppt级金属离子测控、20μm级气泡测控、50nm级残留液膜测控等关键核心技术,完成了超洁净流控系统九大组件的研制和集成测试,为半导体制造设备扫描速度与产能的提高提供基础理论与方法依据,同时自主研发的半导体机台核心超洁净流控零部件实现了产品化,突破了国外技术的封锁,为我国半导体制造的发展与自主创新提供了基础支撑。
浙江大学 2022-07-22
北京维意真空技术应用有限责任公司
北京维意真空技术应用有限责任公司,原名北京科立方真空技术应用有限公司,创立于2013年6月,主体经营分为真空配件销售、真空设备定制、浅蓝纳米科技三个部分,是北京从事真空产品设计、制造、销售、维修、保养于一体的性的公司,公司拥有一支、产品技术工程师和维修技术工程师,具有丰富的行业经验。        公司于2016年初至2017年末,陆续投入大量研发资金,针对等离子增强化学气象沉积设备、原子层沉积设备和高低温真空探针台设备,以及附属配件进行了系统、深入的研发、改进工作。竭尽所能满足高校、研究所的教学、科研使用,同时减少相关进口设备的市场占有率,并力争创造外汇,打出中国创造的名牌!        我们的客户遍布国内各高校和研究院所、部分军工单位和电力试验所、各级的材料、物理、化学、纳米等研究领域的实验室,期待您就是我们的下一位客户、朋友!        您的满意微笑是我们一直努力追求的经营目标!        维意真空,为您服务,唯你成就是我们的宣传口号!        技术创新、服务诚信是我们一直遵循的经营理念!        我们热诚欢迎国内外先进的仪器制造商及科学工作者与我们联系开展各层面的合作,打造成的真空系统产品、等离子体增强化学气相沉积设备、原子层沉积设备和高低温真空探针台设备供应商。
北京维意真空技术应用有限责任公司 2025-04-25
天雁科学计算器考试专用学生函数计算器
深圳市天雁电子有限公司 2021-08-23
天雁科学计算器考试专用学生函数计算器
TY-84MS-4E 主要功能:双行显示,具有修改、插入、删除功能 重现功能 快速上下翻转 快速左右翻转 240种计算功能 10位数+2位指数显示 错误提示 9个变量 分数计算 百分数计算 答案存储 六十进制与十进制的换算 双曲/反双曲函数 常用及自然对数、指数、倒数、阶乘 随机数、π、小数位数、有效位数、舍入 平方根、立方根、根、平方、立方 极坐标/直角坐标变换/双曲/反双曲函数 分数计算、百分数计算、度分秒计算 排列、组合 统计、回归计算 规格尺寸: 重量:135g(含电池) 机身尺寸:160mm*84mm*16mm 耗电:0.0002W 电源:一节AAA(7号/SUM-4) 电池寿命:约有2年(每天使用一小时) 操作温度:0℃-40℃ 包装尺寸:163mm*88mm*24mm 此款计算器为10+2显示函数计算器,符合国标、行标JY/T0382-2007,适合中学生使用,塑料按键,有保护盖
深圳市天雁电子有限公司 2021-08-23
人体姿态估计算法
北京体育大学沈燕飞科研团队使用人体姿态估计算法,对击剑比赛过程中两名选手的身体各环节和关节的运动进行的智能识别。工手动标记数据等方法,更为高效,可应用于海量体育视频数据的分析和未来的体育大数据的构建。
北京体育大学 2021-04-10
抗体药物设计算法
技术分析(创新性、先进性、独占性)挖掘了蛋白质分子结构的几何特征,开发了新颖的优化设计算法,准确识别结合位点,准备预测抗体结构和抗体-抗原相互作用复合物结构,可以显著提高药物设计效益。自主独立开发。已经在国际竞赛中取得第一名的好成绩,也应用在生物和医学实验中,算法和程序代码完整。
中国人民大学 2021-04-10
抗体药物设计算法
技术分析(创新性、先进性、独占性) 挖掘了蛋白质分子结构的几何特征,开发了新颖的优化设计算法,准确识别结合位点,准备预测抗体结构和抗体-抗原相互作用复合物结构,可以显著提高药物设计效益。自主独立开发。 已经在国际竞赛中取得第一名的好成绩,也应用在生物和医学实验中,算法和程序代码完整。
中国人民大学 2021-05-11
通用图计算机
针对图计算在传统控制流体系结构上并行效率低和存储效率差的问题,本成果研发了面向图计算的硬件加速器及其软件环境,提出基于数据流的图计算加速器多级流水线架构,构建多流水线间的同步策略与异步通信机制,设计图计算编程框架和支撑库,解决多加速器分布式计算等关键技术,研制的图计算加速器芯片原型和单机系统取得了国际上单节点效率最好结果。 图1 计算加速器实物图
华中科技大学 2022-10-11
电网网损计算系统
成果与项目的背景及主要用途:电能损失率(又称线损率)是电力系统运行经济性的一项重要指标,电能损失量的分析和计算是电力系统规划、设计和运行管理中经常进行的工作。采用手工计算,工作量大,时间长,而且计算结果误差较大,不能满足电网管理中高效性和精确性的要求。因而如何用计算机有效的管理各类数据,并快速而准确的进行电能损失量的分析和计算是十分重要的问题。电力网网损计算系统是以保证线损计算的准确性、减少线损工作者强度、提高线损管理工作效率为目的而开发的一套应用软件。该系统是根据吉林省电力公司对网损计算的具体要求,并吸收了以往此类系统的开发经验而开发的,具有很强的数据管理功能和方便的图形界面维护功能,并可生成丰富的报表。在精确计算的同时,为线损管理工作者提供了更为友好、适用的图形维护界面。 技术原理与工艺流程简介:在高压理论线损计算中,以小时作为时间段,近似认为在一个小时内负荷值和发电机出力恒定,对功率损耗进行累加。在中压理论线损计算中,以月作为时间段,用迭代算法计算各段线路的损耗。在低压理论线损计算中,以月作为时间段,把变台后的损耗分为低压干线损耗,单、三相接户线的损耗,单、三相表损。低压干线损耗是由通过的电量和干线两端的电压差计算而得,接户线的损耗则由其带的户数,计算其所带电量,进而计算其损耗。 技术水平及专利与获奖情况:本系统已经在吉林省电力公司实际应用,并且顺利通过评审,受到用户的好评,综合其有点包括:数据全部采用通用格式,易于与其他系统接口;采用了科学而实用的模型与算法;用户界面从用户角度进行设计,使操作大大简化;数据统计与分析功能强大,数据报表丰富;全面严格的测试,运行可靠、稳定。 应用前景分析及效益预测:电能损失率是电力系统运行经济性的一项重要指标,电能损失量的分析和计算是电力系统规划、设计和运行管理中经常进行的工作。采用手工计算,工作量大,时间长,而且计算结果误差较大,不能满足电网管理中高效性和精确性的要求。该系统利用先进的计算技术很好的解决了这一问题,作为一个通用的系统,可以广泛的应用于国内所有电力公司的网损计算工作当中,经济效益可观。 应用领域:电力系统网损理论计算。
天津大学 2021-04-11
计算机电缆
计算机电缆分聚氯乙烯绝缘、聚乙烯绝缘、交联聚乙烯绝缘,适用于额定电压300/500V及以下防干扰性能要求较高的电子计算机、检测仪器、仪表的连接,在高频场合下更能显示出其稳定优越的性能。
山东昆嵛电缆有限公司 2021-06-25
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