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本发明公开了一种硅通孔互连结构的制备方法，步骤为①将键合硅器件晶圆键合于硅晶圆基板上；②减薄硅器件晶圆，再刻蚀硅器件晶圆，形成盲孔；③在硅器件晶圆上涂敷一层图案化介电材料(如聚对二甲苯)；④刻蚀图案化介电质层，刻蚀掉盲孔底部的介电材料，保留盲孔侧壁；在基板上形成介电质孔，使介电质孔和盲孔同轴；⑤在介电质孔上沉积一层导电材料，作为导电层，形成导电孔；⑥在导电层上再沉积一层图案化介电质层；⑦移除基板，在导电层上形成焊料微凸点。本发明简化了工艺步骤，减少工艺时间并降低了费用；降低了寄生电容，提升了互连电性

技术参数SPECIFICATIONS 发射器 频率范围: 612.25~867MHz 可调信道数: 1600（可配置八个频段，每个频段200信道） 振荡方式:锁相环PLL频率合成 频率稳定性:±10ppm 调制方式: FM调频 射频功率:10~30mw 音频频响:60~18000Hz 失真度:≤0.5% 电池规格:2x1.5V AA Size 续用时间:8~20小时（视电池种类和容量不同）   接收器 射频功率:10~30mw 音频频响:60~18000Hz 失真度:≤0.5% 电池规格:2x1.5V AA Size 续用时间:8~20小时（视电池种类和容量不同） 音频频响: 60~18000Hz 失真度:≤0.5% 信噪比:≥110dB 音频输出: 800mv（四路φ6.3独立输出；一路φ6.3混合输出，一路卡侬座平衡混合输出） 电源规格: DC12V 消耗功率:≤7W

技术参数SPECIFICATIONS 发射器 频率范围: 612.25~867MHz 可调信道数: 1600（可配置八个频段，每个频段200信道） 振荡方式:锁相环PLL频率合成 频率稳定性:±10ppm 调制方式: FM调频 射频功率:10~30mw 音频频响:60~18000Hz 失真度:≤0.5% 电池规格:2x1.5V AA Size 续用时间:8~20小时（视电池种类和容量不同）   接收器 射频功率:10~30mw 音频频响:60~18000Hz 失真度:≤0.5% 音频频响: 60~18000Hz 失真度:≤0.5% 信噪比:≥110dB 音频输出: 800mv（四路φ6.3独立输出；一路φ6.3混合输出，一路卡侬座平衡混合输出） 电源规格: DC12V 消耗功率:≤7W

产品详细介绍多媒体讲台|钢制讲台|电子讲台|班班通讲台|多媒体讲桌|多功能讲台|S303【多媒体讲台|钢制讲台|讲桌】基本说明外型尺寸：890mm*720mm*1020mm(长*宽*高)；展台位置：470mm*530mm*180mm（长*宽*高）；全钢结构设计，采用国标优质冷轧钢板，静电喷涂,经久耐用；具有娇小可爱的外形，功能齐全。特别适合要求讲台比较小的学校及机关单位使用；【多媒体讲台|钢制讲台|讲桌】产品特点显示器面板为活动件，为用户选用显示器提供了方便，可安装15-19寸液晶显示器（可按要求定做）。外置钢化玻璃防护罩，避免灰尘及意外情况对显示器造成损坏；实物展台置于电教平台右侧抽拉式托盘内；【多媒体讲台|钢制讲台|讲桌】参数规格详细参数1、外型尺寸：890mm*720mm*1020mm(长*宽*高)；展台位置：470mm*530mm*180mm（长*宽*高）；2、全钢结构设计，采用国标优质冷轧钢板，静电喷涂,经久耐用；3、具有娇小可爱的外形，功能齐全。特别适合要求讲台比较小的学校及机关单位使用；4、一把锁控制，也可通过门禁系统，实现电教智能化、自动化；5、中控面板隐藏式外置，台面支持安装接口板和外接电源，方便使用；6、显示器面板为活动件，为用户选用显示器提供了方便，可安装15-19寸液晶显示器（可按要求定做）。外置钢化玻璃防护罩，避免灰尘及意外情况对显示器造成损坏；实物展台置于电教平台右侧抽拉式托盘内；7、讲台桌面空间设计紧凑使用，键盘置于内嵌式盖板内，减少了封闭式电教平台键盘抽屉打开和关闭时，机 械摩擦对导轨的损坏，有效地延长了设备寿命，而且增加防盗功能；讲台设有抽屉方便放置教学杂物；8、桌面可安装笔记本接口模块，其中包括网络接口一个，AV视频接口一个，音频接口一个，话筒接口一个，VGA接口一个，USB接口两个；（选配）9、讲桌内可放以下设备：教学终端、广播终端、电脑主机、显示器、键盘鼠标、多媒体中控、实物展示台、DVD机、功放音箱、笔记本电脑、无线话筒等；10、适应范围广泛：大中院校、中小学校的多媒体教室、阶梯教室、普通教室、演播厅 、以及各种培训教室、报告厅等。【多媒体讲台|钢制讲台|讲桌】适用范围适应范围广泛：大中院校、中小学校的多媒体教室、阶梯教室、普通教室、演播厅 、以及各种培训教室、报告厅等。【多媒体讲台|钢制讲台|讲桌】包装说明纸箱包装，可根据需求订制木箱。【多媒体讲台|钢制讲台|讲桌】售后服务一年免费保修，终身维护维修。