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半导体设备超洁净流控系统及其受制约流控零部件
浙江大学聚焦超洁净流控系统基础研究、技术攻关和产品研发，攻克了影响光刻分辨率、良品率与产率的1mk级温度测控、5ppt级金属离子测控、20μm级气泡测控、50nm级残留液膜测控等关键核心技术
一、项目分类
关键核心技术突破
二、技术分析
如何通过超洁净流控技术降低流控污染，减少曝光缺陷，提升曝光良率，是国产高端半导体制造装备研制面临的重大挑战，直接关乎整机产品的产线应用性能与市场竞争力。此外，作为各类半导体制造装备的共性核心零部件，超洁净流控部件市场被美国、日本等国垄断，使我国半导体制造装备产业面临核心零部件“卡脖子”风险。浙江大学流体动力与机电系统国家重点实验室启尔团队所承担的高端半导体制造装备核心分系统之一的超洁净流控系统，自2004年以来在国家863计划和国家02专项支持，聚焦超洁净流控系统基础研究、技术攻关和产品研发，攻克了影响光刻分辨率、良品率与产率的1mk级温度测控、5ppt级金属离子测控、20μm级气泡测控、50nm级残留液膜测控等关键核心技术，完成了超洁净流控系统九大组件的研制和集成测试，为半导体制造设备扫描速度与产能的提高提供基础理论与方法依据，同时自主研发的半导体机台核心超洁净流控零部件实现了产品化，突破了国外技术的封锁，为我国半导体制造的发展与自主创新提供了基础支撑。
浙江大学
2022-07-22
平面两用地球仪(32cm政地两用地球仪）投标
产品详细介绍 HY320L-2直径：32cm 包装：36x36*37cm 数量：1重量：2Kgs32cm平面两用地球仪(32cm政地两用地球仪)，是地理教学必备仪器。不开灯的时候，显示的是地形，开灯的时候，显示的是政区。在此款地球仪上：1、七大洲：亚洲、非洲、欧洲、大洋州、北美洲、南美洲、南极洲；2、四大洋：大西洋、印度洋、北冰洋、太平洋。3、世界的行政区域 ，各国国名、首都、首府、城市的地理位置及河流、岛屿、海湾等。 国内教学仪器单位招投标产品。各类学校必备教学仪器。政区填充地球仪,地形填充地球仪，平面两用地球仪，教学地球仪，政地两用地球仪，天球仪，教学仪器招投标-专业教学仪器生产厂家。 联系电话：139 6836 8884
象山海阳科教仪器有限公司
2021-08-23
“两院院士评选2024年中国/世界十大科技进展新闻”揭晓
此项年度评选活动至今已举办31次
中国科学报
2025-01-22
山东省人民政府关于加快构建一流科技创新生态的意见
为积极顺应新一轮科技革命和产业变革新趋势，努力争当高水平科技自立自强排头兵，现就加快建设科技强省，构建一流科技创新生态，提出如下意见。
山东省人民政府
2025-04-03
级进模两步冲裁法
技术特点 ：本发明专利主要优点是能在冲裁中尤其是自动化冲压加工 中根除废料上行和废料堵塞现象，保证冲裁工艺操作过程的连续性；对常 用钢、铝合金、铜合金等材料，能降低冲裁工艺噪声达 4-9 分贝，有效地 改善劳动条件，净化工业生产环境。 技术原理 ：一种级进模两步冲裁法，由半冲裁和推两个工步组成。半 冲裁工步中使工件与废料分而不离，再推至推料工步将工件与废料分离。 为确保凹模强度，还可在两工步增加一个与冲
南昌大学
2021-04-14
XM-204两性躯干模型
XM-204两性躯干模型23件85CM
XM-204两性躯干模型可拆分为23部件，显示两性人体内脏器官的位置及头部解剖的形态和构造，表现呼吸、消化、泌尿，生殖等主要人体解剖系统，头颈半侧显示颅骨、咬肌、颞肌等结构，眼眶内有眼球，在头颈部作矢状切面，颅腔容纳脑的半球，示鼻腔、口腔、喉腔、喉室、声门裂、甲状腺，胸腔内的两肺额状切面显示肺内结构，心脏作冠状解剖，表示左右房室的构造异同，心脏血管有上下腔静脉、肺动静脉、主动脉、供讲解大小血液循环应用，胸盖显示女性乳房外形及解剖状，带胸骨，脊椎露在外面，其中一段脊椎可拆下，女性子宫中含有一胎儿。模型包含：躯干、女性胸腔盖、头、眼球、脑、脊椎神经、肺2件、心2件、肝、肾、胃2件、肠4件、男性生殖器官2件、女性生殖器官带胎儿3件。
尺寸：高85cm
材质：PVC材料
上海欣曼科教设备有限公司
2021-08-23
34005平面两用地球仪
宁波华茂文教股份有限公司
2021-08-23
两性泌尿系统模型
XM-700两性泌尿系统模型
XM-700两性泌尿系统模型由肾脏、输尿管、膀胱以及子宫等6部件组成，男女膀胱可以互换，展示腹后壁等血管、肌肉结构，其中右肾打开显示肾内部结构，膀胱和子宫可打开示矢状切面，有数字指示标识。
尺寸：42×30×13cm
材质：PVC材料
上海欣曼科教设备有限公司
2021-08-23
XM-204两性躯干模型
XM-204两性躯干模型23件85CM
XM-204两性躯干模型可拆分为23部件，显示两性人体内脏器官的位置及头部解剖的形态和构造，表现呼吸、消化、泌尿，生殖等主要人体解剖系统，头颈半侧显示颅骨、咬肌、颞肌等结构，眼眶内有眼球，在头颈部作矢状切面，颅腔容纳脑的半球，示鼻腔、口腔、喉腔、喉室、声门裂、甲状腺，胸腔内的两肺额状切面显示肺内结构，心脏作冠状解剖，表示左右房室的构造异同，心脏血管有上下腔静脉、肺动静脉、主动脉、供讲解大小血液循环应用，胸盖显示女性乳房外形及解剖状，带胸骨，脊椎露在外面，其中一段脊椎可拆下，女性子宫中含有一胎儿。模型包含：躯干、女性胸腔盖、头、眼球、脑、脊椎神经、肺2件、心2件、肝、肾、胃2件、肠4件、男性生殖器官2件、女性生殖器官带胎儿3件。
尺寸：高85cm
材质：PVC材料
上海欣曼科教设备有限公司
2021-08-23
XM-204两性躯干模型
XM-204两性躯干模型23件85CM
XM-204两性躯干模型可拆分为23部件，显示两性人体内脏器官的位置及头部解剖的形态和构造，表现呼吸、消化、泌尿，生殖等主要人体解剖系统，头颈半侧显示颅骨、咬肌、颞肌等结构，眼眶内有眼球，在头颈部作矢状切面，颅腔容纳脑的半球，示鼻腔、口腔、喉腔、喉室、声门裂、甲状腺，胸腔内的两肺额状切面显示肺内结构，心脏作冠状解剖，表示左右房室的构造异同，心脏血管有上下腔静脉、肺动静脉、主动脉、供讲解大小血液循环应用，胸盖显示女性乳房外形及解剖状，带胸骨，脊椎露在外面，其中一段脊椎可拆下，女性子宫中含有一胎儿。模型包含：躯干、女性胸腔盖、头、眼球、脑、脊椎神经、肺2件、心2件、肝、肾、胃2件、肠4件、男性生殖器官2件、女性生殖器官带胎儿3件。
尺寸：高85cm
材质：PVC材料
上海欣曼科教设备有限公司
2021-08-23