一种薄型电动二维精密平台
本实用新型公开了一种薄型电动二维精密平台,包括上平台、下平台以及联接安装在两者之间且整体呈平板结构的中间连接件,其中中间连接件的上表面与上平台底座表面相互平行,并在两者之间保持间隙用于储存润滑介质;该上表面的两侧还分别设置有沿着 X 轴方向分布的导轨副,同时通过设置在外侧凹陷区域的 X 向电机和第一精密螺纹丝杆传动单元,使上平台沿着导轨副在 X 轴方向上移动。该中间连接件的下表面结构与上表面相类似。通过本实用新型,能够在显著减少平台整体厚度的情况下,在 X 轴和 Y 轴两个运动方向上实现高精度和较大
华中科技大学
2021-04-14