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一种深硅刻蚀方法
本发明公开了一种深硅刻蚀方法，包括如下步骤：（1）在硅片表面制备图形化的光刻胶掩膜；（2）对硅片进行深感应耦合等离子体干法刻蚀，包括多个刻蚀阶段，每个刻蚀阶段均在感应耦合等离子体机内，通过钝化、轰击和刻蚀三个步骤交替循环加工完成，随着刻蚀深度的增加，各刻蚀阶段中轰击步骤的轰击强度逐渐增强。本发明有效解决了现有技术中侧壁垂直度及粗糙度难以控制以及大刻蚀深度难以实现的问题，在提高刻蚀效率的同时，提高了对光刻胶的选择比，刻蚀槽侧壁垂直度高，粗糙度小，刻蚀深度大。
华中科技大学
2021-04-14
一种基于激光冲击波技术的内孔孔壁冲击喷涂的方法及装置
（专利号：ZL 201510093124.3） 简介：本发明公开了一种基于激光冲击波技术的内孔孔壁冲击喷涂的方法及装置，涉及零件加工再制造领域。本发明首先将料斗内的金属料粉送至坩埚内加热熔化制成金属熔融液，然后利用强激光辐照在熔融液的液面上，熔融液表面部分物质吸收激光能量瞬间气化、电离在液面产生高压等离子体，高压等离子体瞬间对熔融金属液面施加一向下的超高的冲击力，使熔液发生爆炸性溅射，溅射的熔滴在空中飞行遇到阻力，雾化成更为细小的微粒，并以很高的速度撞向工件内孔壁，在孔壁快速凝固后形成致密的涂层。实现该方法的装置包括激光发生器、导光系统、送粉系统、工件夹具系统以及控制系统。本发明具有喷涂压力超高、粒子溅射速度超快、涂层质量好以及效率高等特点。
安徽工业大学
2021-04-11
一种以废石膏为钙源制备纳米碳酸钙浆料的方法、产品及应用
本发明公开了一种以磷石膏为钙源制备纳米碳酸钙浆料的方法，向废石膏中加入水配制成石膏浆料，将氨水与石膏浆料搅拌混合，通入二氧化碳，并搅拌至废石膏中硫酸钙完全转化为纳米碳酸钙，过滤，将滤饼分散于水中得到纳米碳酸钙浆料。本发明方法简单易行，成本低廉，碳酸钙分解温度低。本发明还公开了上述方法制备的纳米碳酸钙浆料及其在制备氧化钙基二氧化碳吸附剂和用于反应吸附甲烷水蒸汽重整制氢的复合催化剂中的应用。制备得到的氧化钙基二氧化碳吸附剂循环稳定性好、吸附速率高，复合催化剂用于甲烷水蒸汽重整制氢，能制备得到纯度90％以上的氢气。
浙江大学
2021-04-11
碳气凝胶在海水淡化方面的应用
碳气凝胶因在同类气凝胶材料中具有良好的导电性（5～40s/cm），以及高比表面积 而使其成为一种新型的理想电极材料．目前国外的研究集中在将碳气凝胶应用于超级电 容器（双电层电容器）电极、气体扩散电极，燃料电化学电池的电极、可充电电池电极 等，同济大学在这方面的研究工作也已开展了近十年，取得了一定的成果。 研究的目标是用碳气凝胶作电极，试制海水淡化原理型装置，进行各项参数的优化 研究。本材料是典型的环保与能源材料，所以有利于保护环境与资源综合利用。研究成 果应用于海水淡化、新能源器件等领域。
同济大学
2021-04-11
碳气凝胶应用于海水淡化技术
气凝胶（Aerogel）是一种具有超高孔隙率的三维纳米多孔材料，是目前世界上质量最轻、保温隔热性能最好、孔隙率最高、比表面积最高的固体材料。其密度极低，在3~500 mg/cm3之间可调，孔隙率高达80 %~99.8 %，比表面积可达1000 m2/g，常温下的热导率低至0.015 W/m·K，典型的孔径尺寸在1~100 nm之间。独特的纳米多孔结构使气凝胶具有许多特殊的物理性能，例如低热导率、低折射率、低声阻抗、低介电常数、强吸附性、高催化活性等等。这些优异的物理性能使气凝胶在航空航天、保温隔热、高效吸附、隔音、催化和储能等领域具有广阔的应用前景。 气凝胶比表面积高、孔隙率高、孔洞又与外界相通，性能稳定，因此它是很好的吸附材料，可以用来吸附有害气体和过滤有机物，有利于保护环境。碳气凝胶结合了碳材料本身的导电特性与气凝胶材料多孔的结构特性，可以应用在海水淡化等领域。 目前技术采用高比表面积的多孔碳气凝胶制成电极，制成海水淡化原理型装置。通过正反接电压实现装置的连续脱盐，提高装置的脱盐效率。
同济大学
2021-02-01
碳气凝胶应用于海水淡化技术
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同济大学
2021-04-10
一种多糖微凝胶的制备方法
本发明公开了一种葡聚糖微凝胶的制备方法，包括以下步骤： (1)制备 1,6-己二异氰酸酯胆固醇单酯；(2)制备疏水性多糖衍生物：将 1,6-己二异氰酸酯胆固醇单酯加入到二甲亚砜中，并加入天然多糖和吡 啶，在 70～90℃下反应；加入乙醇在 0～15℃下保存得到沉淀；收集 沉淀，并将沉淀在水中透析，保留下的沉淀干燥后即得到胆固醇修饰 的多糖衍生物；(3)制备有负载或无负载的多糖水凝胶。本发明通过对 葡聚糖微凝胶的制备工
华中科技大学
2021-01-12
黄泥浆添加凝胶防遗煤自燃材料
黄泥浆添加凝胶防遗煤自燃材料，结合了黄泥灌浆的广泛性和胶体的防灭火性，研制了一种低成本并且灭火性能好的新型矿井采空区防灭火材料。其材料配比为：水土比是 1：4，基料用量 4%，促凝剂用量 5%，高分子用量 0.75‰，其中， 凝胶由基料、促凝剂和水组成，基料选用水玻璃，促凝剂选用碳酸氢钠，高分子添加物为聚丙烯酸钠。本发明材料含水量高、阻化效果良好、使用安全，成本比纯硅酸凝胶的低 25%以上，而且需要的成胶时间越长，用的材料会越少，成本越低，是一种低成本高性能的新型矿井防灭火材料。
北京科技大学
2021-04-13
喷昔洛韦微乳凝胶外用制剂
喷昔洛韦为第 3 代核苷类广谱抗病毒药，对Ⅰ型、Ⅱ型单纯疱疹病毒 (HSV-Ⅰ，Ⅱ)，水痘－带状疱疹(VZV)，乙型肝炎病毒(HBV)，非洲淋巴细胞瘤 病毒(EBV)和巨细胞病毒(CMV)等病毒有抑制作用。但是药物口服生物利用度 小，本身的经皮渗透能力较差，临床应用疗效受到限制。本研究将其制成微乳 凝胶制剂，利用微乳提高其溶解度，增大其对皮肤的渗透性，利用凝胶的粘稠 214 分散性，方便病人涂抹使用并减少刺激性。实验表明该制剂对单纯疱疹病毒动 物模型有显著的疗效。本研究已获得国家发明专利
山东大学
2021-04-13
一种温敏凝胶的制备方法
本发明属于生物医学技术领域，具体涉及一种温敏凝胶的制备方法，用于妇科炎症的治疗。制备方法包括壳聚糖乙酸溶液的制备、羟甲基壳聚糖水溶液的制备、β-甘油磷酸钠水溶液的制备和温敏水凝胶的制备四个步骤。本发明制备工艺简单，原理安全可靠，制备成本低，治疗效果好，克服了同类产品只能在夜间给药的弊端，应用前景好。
青岛大学
2021-04-13