适用于IC装备工件定位运动台的仿真系统及其建模方法
本发明公开了一种适用于IC装备工件定位运动台的仿真系统及建模方法,该方法包括:获取运动台基础部件的部件模型,将所述部件模型以学科领域进行分类,构建部件级多领域模型库;选用部件级多领域模型库中的部件模型,构建功能模块级模型库;选用所述功能模块级模型库中的模型构建系统级模型;对系统级模型进行检查,检查无误后设定模型参数,以完成运动台仿真系统的建模。该系统包括部件级多领域模型库、功能模块级模型库、系统级模型、模型编译及仿真模块、输出模块。上述部件级多领域模型库、功能模块级模型库和系统级模型均在MWorks统一建模环境基于Modelica建模语言进行。本发明适用性强,建模效率高,可有效解决多领域耦合的问题。
华中科技大学
2021-04-14