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一种可单面封装的双膜电容式压力传感器及制作方法
本发明涉及压力传感器技术领域,特指一种可单面封装的双膜电容式压力传感器及制作方法,包括玻璃衬底,玻璃衬底上设有小浅槽与大浅槽,小浅槽通过细槽连通于大浅槽,大浅槽上设有可测量低压差的电容C1与可测量高压差的电容C2,可测量低压差的电容C1包括底电极板与薄压力敏感膜,可测量高压差的电容C2包括厚压力敏感膜与顶电极板, 小浅槽通过细槽与可测量低压差的电容C1对应设置,可测量低压差的电容C1与可测量高压差的电容C2对应设置。本发明采用变间距原理实现压力到电容的转换,可测量低压差的电容C1与可测量高压差的电容C2分别实现了低压段与高压段的高精度测量,不仅提高了压力测量精度,也提升了传感器的测量范围。
东南大学 2021-04-11
一种基于激光测距传感器的便携式二维随动激光测量装置
本发明公开了一种基于激光测距传感器的便携式二维随动激光 测量装置,其包括水平移动组件、竖直移动组件和控制系统组件,水 平移动组件包括水平移动滑台和驱动其作水平运动的步进电机,水平 移动滑台上安装有水平光栅尺;竖直移动组件包括竖直升降滑台和激 光测距传感器,竖直升降滑台固定在水平移动滑台上,其由步进电机 驱动作竖直运动,其上安装有竖直光栅尺;激光测距传感器固定在竖 直升降滑台的运动端;控制系统组件用于控制水平移动滑台和竖直升 降滑台的运动,并处理激光测距传感器、水平光栅尺和竖直光栅尺反 馈的距离数据。
华中科技大学 2021-04-14
用于同时检测CU2+ Pb2+ Cd2+的阵列式薄膜传感器及其制备方法
本发明涉及用于同时检测Cu2+,Pb2+,Cd2+的阵列式薄膜传感器及基制备方法,以p型或n型Si片作基底,在基底上依次为SiO2层,对Cu2+,Pb2+,Cd2+敏感的三种薄膜;该薄膜传感器是通过激光脉冲沉积技术在SiO2表面上制备三种敏感薄膜,采用激光沉积技术把三个敏感材料分别制备在SiO2表面上,最后形成三种阵列式薄膜传感器.它对溶液中的Cu2+,Pb2+,Cd2+具有选择性,能检测出Cu2+,Pb2+,Cd2+的含量.本发明可在江河湖泊,生物医学领域(如血液,体液),工业废水,中药,蔬菜,水果,茶叶等领域中对Cu2+,Pb2+,Cd2+同时进行定性和定量检测.
东北电力大学 2021-04-30
Advanced Materials报道华东理工大学在单原子气敏传感器领域的研究综述
近日,国际知名学术期刊Advanced Materials以“Progress and Perspectives of Single-atom Catalystsfor Gas Sensing”为题,在线报道了我校机械与动力工程学院在单原子气体传感领域的评论性综述论文。
华东理工大学 2022-10-11
一种宽量程高精度集成双膜电容式压力传感器及制作方法
本发明涉及压力传感器技术领域,特指一种宽量程高精度集成双膜电容式压力传感器及制作方法,包括玻璃衬底,玻璃衬底上设有浅槽一与浅槽二,浅槽一与浅槽二通过细槽连通,浅槽二中心位置设有浅槽通孔,浅槽通孔从浅槽二底面延至玻璃衬底底面,浅槽一上设有可测量低压差的电容C1,浅槽二上设有可测量高压差的电容C2,可测量低压差的电容C1包括底电极板与薄压力敏感膜,可测量高压差的电容C2包括厚压力敏感膜与顶电极板,浅槽通孔通过细槽与可测量低压差的电容C1对应设置,浅槽通孔通过浅槽二与可测量高压差的电容C2对应设置。本发明通过可测量低压差的电容C1与可测量高压差的电容C2分别实现了压力在低压段与高压段的高精度测量。
东南大学 2021-04-11
超声、微波辅助水热合成氧化锌基的纳米复合颗粒用于气敏传感器的应用
使用超声、微波辅助水热合成的方法制备出不同相貌的ZnO、Cr ZnO、CoO ZnO等纳米复合颗粒,通过复合和掺杂改性,分别构建p-n结和形成催化活性位点,提高气敏性能。
上海理工大学 2021-01-12
HKM中科米点定制4吨大量程多分三六维力传感器机器人手臂动态底座
HKM中科米点定制4吨大量程多分三六维力传感器机器人手臂动态底座
安徽中科米点传感器有限公司 2021-12-16
差动传感式磁流变阻尼器
项目研发了一种集成位移传感功能的自传感磁流变阻尼器(DDSMRD),既能完成可控阻尼力的输出又能实现与位移呈线性比例关系的感应电压信号输出,具备阻尼力可控和相对位移动态测量的复合功能。进一步提高了车辆半主动悬架系统可靠性,并降低了系统成本。另外,由于采用双感应线圈差动缠绕,该 DDSMRD 具有抗干扰性好,感应信号强等优点。该自传感阻尼器最大输出阻尼力可达 1000N,可检测相对位移量±10mm,非常适合应用于道路车辆半主动悬架系统和座椅悬架系统的减振。
华东交通大学 2021-05-04
固支梁直接加热式微波信号检测器
本发明的固支梁直接加热式微波信号检测器由六端口固支梁耦合器,通道选择开关,微波频率检测器,微波相位检测器,直接加热式微波功率传感器级联构成;六端口固支梁耦合器由共面波导,介质层,空气层和固支梁构成;六端口固支梁耦合器的第一端口到第三端口、第四端口及到第一端口到第五端口、第六端口的功率耦合度分别相同,待测信号经第一端口输入,并由第二端口输出直接加热式微波功率传感器,由第四端口,第六端口输出微波相位检测器,由第三端口,第五端口输出到通道选择开关;通道选择开关的第七端口和第八端口接直接加热式微波功率传感器
东南大学 2021-04-14
固支梁间接加热式微波信号检测器
本发明的固支梁间接加热式微波信号检测器由六端口固支梁耦合器,通道选择开关,微波频率检测器,微波相位检测器构成;六端口固支梁耦合器由共面波导,介质层,空气层和固支梁构成;六端口固支梁耦合器的第一端口到第三端口、第四端口以及第一端口到第五端口、第六端口的功率耦合度分别相同,待测信号经第一端口输入,由第二端口输出间接加热式微波功率检测器,由第四端口和第六端口输出间接加热式微波相位检测器,由第三端口和第五端口输出通道选择开关;通道选择开关的第七端口和第八接间接加热式微波功率传感器,通道选择开关的第九端口和第
东南大学 2021-04-14
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