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一种芯片位置和倾角检测装置及方法
本发明公开了一种芯片位置和倾角检测装置，包括光源组件、光路传输组件、摄像组件以及自准直仪，其中光源组件由分别对应于芯片和基板的第一、第二光源构成；光路传输组件由第一、第二和第三半透半反棱镜以及第一、第二反射镜共同构成，由此在同一光路系统中实现对芯片和基板位置的检测；摄像组件由具备不同视野的第一和第二摄像单元构成，其中第一摄像单元用于采集芯片或基板的大视野图像，根据 MARK 点实现初步定位，第二摄像单元用于采集其具体位置图像；自准直仪用于获取代表芯片水平倾角信息的法线倾斜量。本发明还公开了相应的检测
华中科技大学
2021-04-14
一种光刻机自动调焦方法及装置
本发明公开了一种光刻机自动调焦方法及装置，其方法是将平行光束经第一狭缝投射至硅片表面，再经振动反射镜扫描后通过第二狭缝，由光电探测器接收光强信号，然后通过提取光强信号中二倍于扫描频率的频域成分得到硅片的粗调量，通过提取光强信号中一倍于扫描频率的频域成分得到硅片的精调量，最后由驱动装置调整硅片至焦点位置。调焦装置主要由两个狭缝、一个振动反射镜、光电传感器、驱动台和若干光学镜片组成，信号处理过程由计算机编程完成。该方法与装置相较于以往对比光斑强度进行调焦的方式，具有结构简单、响应迅速、精度高(优于 0.
华中科技大学
2021-04-14
一种复合波片光轴对准方法及装置
本发明公开了一种复合波片光轴对准方法及装置。将待对准复合波片的两片晶片装在支架上之后分别安装在固定、旋转波片卡盘上；从光源发出的光经过起偏器后形成线偏振光；通过待对准的复合波片后，线偏振光偏振态发生变化；根据探测器探测到的透射光强信号可进一步获得待对准复合波片相位延迟波动量的变化幅值；比较相位延迟波动量的变化幅值的相对大小；通过电控旋转台控制旋转波片卡盘转动，直至将复合波片的光轴对准到所要求的精度范围内。装置包括光源，起偏器，固定波片卡盘，旋转波片卡盘，旋转检偏器，探测器，电控旋转台，计算机，步进电机和电控旋转台控制器。该方法可以实现对复合波片光轴进行高精度对准，装置简易，操作简单。
华中科技大学
2021-04-11
悬吊式巷道掘进临时支护装置及其使用方法
本发明公开了一种悬吊式巷道掘进临时支护装置及其使用方法，它由工字钢悬挂梁、支撑平台、升降台、移动架和多个液压缸所组成；通过上述各部件实现巷道快速连续掘进，减少顶板下沉和离层，减少迎头冒顶和偏帮事故并降低劳动强度。
安徽理工大学
2021-04-13
一种热管式温度测定装置及方法
本发明公开了一种热管式温度测定装置及方法，包括：传热模块、温度测量模块和机械模块；方法包括如下步骤：
(1)根据管道形状对于管道壁面和装置的相对位置进行初步的判断；
(2)选取合适的位置利用热管弯曲底座，良好契合管道外壁，进行固定并做测量前的准备工作；
(3)位置固定结束，伴随着热管快速进行热量传递过程；在传感器进行温度测量时，每次应在读数相对稳定时记录；
(4)每次测量结束后，在连杆和加紧弹簧的共同作用下，改变装置的位置，测量管道外壁多处温度，综合反映管道内部流体状况。本发明不需要将测温装置插入管道内部进行测量，满足了当管道内部高温高压条件时，不利于开孔测量的情况，能够更加准确的反映管道温度情况。
东南大学
2021-04-11
适用于陶瓷PTC装配技术的拉膜与切膜装置
本发明公开了一种适用于陶瓷PTC装配技术的拉膜与切膜装置。包括送膜机构、拉膜机构和切膜机构，机架上沿薄膜传送方向依次设有送膜机构、切膜机构和拉膜机构，切膜机构包括固定在机架上的压板组件和刀片组件，压板组件安装在刀片组件上方；压板组件包括前撑板气缸、前撑板气缸顶杆、前撑板、压板、后撑板、压板气缸和压板气缸顶块，拉膜机构包括拉膜电机、拉膜丝杆、拉膜滑轨和用于夹膜的拉膜夹板组件。本发明采用自动拉膜、切膜技术，相比手工拉膜、切膜技术，极大提高了生产效率。
浙江大学
2021-04-11
一种气动直线驱动的芯片拾取与翻转装置
本发明提供了一种气动直线驱动的芯片拾取翻转装置，主要包括旋转驱动组件、翻转臂组件、直线驱动组件、芯片吸取组件和传感器组件，在旋转驱动组件的驱动下翻转臂组件带动芯片吸取组件翻转实现对芯片的翻转，直线驱动组件驱使吸取组件的吸嘴靠近或远离芯片实现对芯片的安全吸取，传感器组件检测吸取组件的翻转角度以供外部控制系统。旋转驱动组件采用伺服电机与减速器的配合方式，保证较高的翻转精度；直线驱动组件采用气动驱动方式调节吸嘴与芯片间的距离以保证两者间的安全间隙。
华中科技大学
2021-01-12
一种压电与光电复合的流体流速流向测量装置
本实用新型公开了一种压电与光电复合的液体流速流向测量装置，装置包括圆柱体，压电纤维束，激光发射准直模块，弹性阻尼体，底座，二维 PSD 位移传感器，PSD 承载及信号放大电路板，以及测量数据处理模块；本实用新型利用弹性圆柱体以及安装在圆柱体内部中心轴线区域的压电纤维束，将流体的流动转换为浸入流体中的圆柱体的偏转运动，以及压电纤维束随圆柱体偏转产生压差，利用圆柱体的偏转与流体流向的关系，以及压电纤维束压差与流体流速的关系，实现流体的流速和流向的测量。本实用新型结构简单，体型小巧，可以减少对流体的扰动，
华中科技大学
2021-04-14
涉硫石化装置运行风险评估与预警技术及其应用
该项目研发了石化装置运行风险预警系统，实现了基于风险分级的石化装置风险预警与检验。项目提出了基于标志性气体与温度变化相复合的热自燃预警临界判据；提出建立了新型管道泄漏点定位模型与算法；提出了集硫腐蚀监测、热自燃及装置失效泄漏风险动态评估和寿命预测为一体的石化装置风险预警技术。
南京工业大学
2021-01-12
涉硫石化装置运行风险评估与预警技术及其应用
该项目研发了石化装置运行风险预警系统，实现了基于风险分级的石化装置风险预警与检验。项目提出了基于标志性气体与温度变化相复合的热自燃预警临界判据；提出建立了新型管道泄漏点定位模型与算法；提出了集硫腐蚀监测、热自燃及装置失效泄漏风险动态评估和寿命预测为一体的石化装置风险预警技术。
南京工业大学
2021-01-12