|
搜索
搜 索
高等教育领域数字化综合服务平台
高稳定金属膜电阻器用磁控溅射中高阻靶材及制备技术
成果与项目的背景及主要用途：
Cr-Si 中高阻膜电阻器具有精度高、噪声低、温度系数小、耐热性和稳定性好等优点，在精密电子设备和混合集成电路中大量采用。对于溅射制备电阻膜来说，靶材是至关重要的，它制约着金属膜电阻器的电阻率、精度、可靠性、电阻温度系数（Temperature Coefficient of Resistance, TCR）等性能。电阻温度系数(TCR)是金属膜电阻器的一个重要性能技术指标之一，较大的 TCR 在温度变化时会造成电阻值漂移，从而影响电阻器的精度和稳定性。目前国内外生产的金属膜电阻器用高阻靶材，其性能不能满足低 TCR（≤25ppm/℃）要求。
技术原理与工艺流程简介： 靶材炼制工艺如下图所示所制备的靶材(382 mm ×128 mm ×14 mm)在溅射成电阻器薄膜后, 电阻温度系数小(≤25 ×10-6 / ℃), 电阻值高(要求不刻槽数量级为千欧, 刻槽后数量级为兆欧)且稳定(随时间变化小), 因此, 在本靶材研究中, 将选择 Cr 、Si 作为高阻靶材的主体材料。由于 C r 、Si 熔点高, 原子移动性低, 因此由其所组成的薄膜稳定性高。通过在金属 C r 中引入半导体材料 Si 来提高电阻器合金膜的阻值。C r 是很好的吸收气体的金属元素, 在电阻器薄膜溅射过程中, 可通过通入微量的氧来提高薄膜的电阻率, 同时调节电阻温度系数。技术指标如下：温度冲击实验后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 过载实验后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 寿命实验后ΔR/R ≤±1 .0 %,电阻温度系数 TCR ≤±20 ×10-6 / ℃。
应用领域：
集成电路、电子元器件
合作方式及条件：具体面议
天津大学
2021-04-11
Edu.报道华东理工大学多功能自修复材料本科教学实践成果
自修复材料是近年来发展迅速的一类新型功能材料,它能够通过物理或化学作用自动修复损伤并恢复其功能，为主动预防材料的潜在危害并延长其使用寿命提供了一种新的智能方法。
华东理工大学
2022-09-28
天津医科大学艾玎课题组Circulation Research文章揭示心肌后修复过程的关键分子机制
基础医学院生理学与病理生理学系艾玎教授课题组近期在《Circulation Research》发表题为Macrophage MST1/2 disruption impairs post-infarction cardiac repair via LTB4文章，揭示了巨噬细胞激酶MST1/2在急性心肌梗死炎症损伤修复过程中的作用及分子机制，并为相关疾病的治疗提供了新的思路以及靶点。
天津医科大学
2021-09-15
一种金属半固态坯料的制备装置及其制备方法
（专利号：ZL 201510292612.7） 简介：本发明公开了一种金属半固态坯料的制备装置及其制备方法，属于金属材料与冶金技术领域。本发明的一种金属半固态坯料的制备装置，包括加热机构、坩埚和升降平台，其中，所述的加热机构包括交流电源和加热线圈，加热线圈通过导线与交流电源相连，且上述加热线圈包括第一线圈和第二线圈；坩埚固定于升降平台上且置于第一线圈和第二线圈内部；本发明的一种金属半固态坯料的制备方法，包括循环重熔处理工序，其循环重熔处理主要是通过交替关闭第一线圈和第二线圈，控制金属熔体的中心温度处于其半固态温度区间，上下循环地移动坩埚来进行的。通过使用本发明，可以得到纯净无污染的金属半固态坯料，设备和操作简单，成本低，广泛适用于各种合金材料。
安徽工业大学
2021-04-11
北京市科学技术委员会、中关村科技园区管理委员会关于印发 《北京市科学技术奖励办法实施细则》的通知
为做好本市科学技术奖励工作，进一步规范北京市科学技术奖（以下简称市科学技术奖）的提名、受理、评审、授予等各项活动，根据《北京市科学技术奖励办法》（以下简称《办法》），制定本细则。
北京市科学技术委员会、中关村科技园区管理委员会
2024-11-29
全国高校区域技术转移转化中心建设工作会召开
12月26日，全国高校区域技术转移转化中心建设工作会在南京召开。教育部党组书记、部长怀进鹏，江苏省委副书记、省长许昆林出席会议并讲话。教育部党组成员、副部长吴岩主持会议。
微言教育
2024-12-27
焊接结构内外一体化智能检测装备与自主评估技术
焊接作为工程机械领域的关键技术，直接决定着国之重器的安全可靠性。目前，智能焊接与检测严重依赖国外进口设备，价格昂贵、售后服务难以保障。对于大型、复杂焊接结构，焊后焊缝质量智能检测在整条焊接产线上属于空白。本团队在国内首次开发了大型焊接结构内外一体化智能检测装备及软件，部分高端装备达到国际水平，建成了国内首条内外一体化焊接智能检测与评估生产线，在徐工挖掘机上获得应用，并在央视CCTV2制造中国节目中播出。
图片 内外一体化焊缝智能检测与评估生产线获央视CCTV2报道
吉林大学
2025-02-10
北京航天科恩实验室装备工程技术有限公司
北京航天科恩是一家实验室建设EPC总承包商，作为深耕实验室建设领域20年的行业先锋，我们始终以"科学设计·精准交付"为理念，为生物医药、环境监测、高校科研、医疗检测等领域的客户提供一站式实验室解决方案。我们的业务范围不限于实验室规划设计、实验室装修装饰、实验室改造翻新、实验室施工、实验室水电气/暖通系统设计、实验室废气废液处理、实验室家具定制安装销售、实验室相关配件供应等。
北京航天科恩实验室装备工程技术有限公司
2024-12-11
低熔点复合粉末制备
铁粉作为工业的主要原材料，广泛地应用在机械、冶金、化工、航空航天材料领域。铁基金属粉末作为粉末冶金工业的基础原材料，它的产量、品质决定着粉末冶金工业的发展。但铁粉也存在着一些缺点，如易腐蚀，耐氧化稳定性差，表面容易形成氧化层。用镍磷包覆铁粉可以取代镍、铁的混合粉末，降低生产成本，改善混合粉末的流动性、均质性（没有组成偏析）、抗氧化性、耐腐蚀性和耐磨性。本项目的目的是提供一种简单、易操作、成本较低的制备镍磷包覆铁粉的化学镀方法，制得的铁粉表面镍磷镀层均匀。该项目具有操作方便，包覆均匀，成本低廉等优势，发明的这种工艺同样可以应用于其他金属粉末，如银粉、铜粉。铁粉表面化学镀镍磷合金后，耐蚀、抗氧化性能大大提高。
华东理工大学
2021-04-11
超细材料的制备
本项目主要包括超细高纯氧化铝粉体及生物医用氧化锆纳米粉体，以纳米 级、亚微米级的无机盐、过渡金属离子为中间原料制备，具有耐候性好、耐酸 碱腐蚀、投资规模小、附加值高等优点，应用广泛，能够替代国外进口产品。 本项目是通过溶胶凝胶与水热法相结合的技术手段，使易水解的金属无机盐或 金属醇盐化合物在某种溶剂中与水发生反应，经过水解与缩聚过程逐渐凝胶化， 再经干燥、烧结等后处理得到超细粉末，避免了微粒的过度生长以及在液相中 的团聚，可获得粒径分布很窄纳米级。
山东大学
2021-04-13