用于微形貌测量的磁悬浮触针式位移传感器
本发明为用于微形貌测量的磁悬浮触针式位移传感器。包括测量探头、探头支承座、读数传感器、信号处理控制装置。其中触针安装在悬浮式探杆下端,探杆为磁体,探杆设置在探头支承座内并与探头支承座间留有间隙,探头支承座为电磁铁。读数传感器与测量探头对应。设置有信号处理控制装置分别与读数传感器及探头支承座连接。本发明利用磁悬浮支承座和探杆间的磁力作用将探杆和触针悬浮,彻底改变了传统的机械固定接触式探杆安装方法,保证探杆和触针的高顺应性,使探杆只能在垂直于工件表面方向作直线运动,从本质抛掉了传统传感器的非线性误差,大大提高测量精度,扩大了传感器的测量范围,适应了精密加工技术的发展,更好地满足工业测量需要。
四川大学
2016-10-08