本发明公开了一种光学散射测量中粗糙纳米结构特性参数的测 量方法，可以对 IC 制造中所涉及纳米结构的结构参数和粗糙度特征参 数进行非接触、非破坏的测量。首先，通过仿真分析的手段，选出最 优测量配置与最优等效介质模型；其次，将上述仿真结果运用于实际 纳米结构的测量，包括：在最优测量配置下，对实际纳米结构进行光 学散射测量，获得测量光谱；运用基于最优等效介质模型的参数提取 算法，对测量光谱进行分析，获得提取参数的数值；通过提取参数与 待测参数间稳定性最佳的映射关系式对提取参数进行映射，获得待测 参数的数值。 

本发明公开了一种光学散射测量中粗糙纳米结构特性参数的测量方法，可以对 IC 制造中所涉及纳米结构的结构参数和粗糙度特征参数进行非接触、非破坏的测量。首先，通过仿真分析的手段，选出最优测量配置与最优等效介质模型；其次，将上述仿真结果运用于实际纳米结构的测量，包括：在最优测量配置下，对实际纳米结构进行光学散射测量，获得测量光谱；运用基于最优等效介质模型的参数提取算法，对测量光谱进行分析，获得提取参数的数值；通过提取参数与待测参数间稳定性最佳的映射关系式对提取参数进行映射，获得待测参数的数值。

研发阶段/n本发明公开了一种多自由度光学测量系统，可应用于二维小角度（或微位移）的测量。此种系统包括激光发射器、误差敏感单元、光电接收单元以及信号处理单元。误差敏感单元包括两个直角棱镜（２）、（３）；光电接收单元包括光电接收器件（５）和准直物镜（４）；测量位移时须把准直物镜（４）去掉。光电接收器件（５）置于准直物镜（４）的焦平面上，半导体激光器（１）发出的基准光束经直角棱镜（３）和直角棱镜（２）反射后，通过准直物镜（４）将其光斑成像在光电接收器件（５）的光敏面上，其中半导体激光器（１）和光电接收单元

Ø  成果简介：光学投影式三维形貌测量方法是一种非接触、高精度、快速获取被测物三维形貌的方法。基于此方法开发研制而成的测量系统可在1分钟内获取测量区域10cm2-400cm2内被测物三维形貌，测量分辨率可达到200μm。该系统硬件部分包括小型化条纹投射装置、高分辨率数字CCD相机和控制电路，自行编写的软件拥有仪器控制、图像采集、分析和可视化等功能并嵌套相位解包裹专用算法。便携式设计使该套系统可方便应用于车间、厂矿等各种测量环境。Ø  项目来源：自

成果简介：光学投影式三维形貌测量方法是一种非接触、高精度、快速获取被测物三维形貌的方法。基于此方法开发研制而成的测量系统可在1分钟内获取测量区域10cm2-400cm2内被测物三维形貌，测量分辨率可达到200μm。该系统硬件部分包括小型化条纹投射装置、高分辨率数字CCD相机和控制电路，自行编写的软件拥有仪器控制、图像采集、分析和可视化等功能并嵌套相位解包裹专用算法。便携式设计使该套系统可方便应用于车间、厂矿等各种测量环境。 项目来源：自行开发 技术领域：测量测试

产品详细介绍OMS材料物理光学属性测量仪OMS2材料物理光学属性BRDF测量仪，用于测量光学材料表面BRDF光学属性以及材料体光学属性，测量出的数据经过OMS2数据处理软件的拟合，得出.BRDF格式的文件，这些文件都携带了材料的表面光学属性和体光学属性。这些数据文件可在OMS2支持软件中直接读取，在OMS2支持软件的协助下完成杂散光仿真分析处理。国内外用户有拜尔材料、洛克希德马丁、NASA、三星、LG、航天508所、中航工业上海航空电器有限公司等。设备组成OMS2材料BRDF光学属性高精测量系统由OMS2测量仪、数据处理工作站、OMS4数据处理软件。注：B2DF的解释双向反射分布函数（Bidirectional Reflectiondistribution function, BSDF）是研究物体表面粗糙度之光学性质。由于物体表面上有凹凸不平的微小表面，一束入射光线射到表面而产生反射现象，用BRDF 来表示这种反射（散射）现象。其中双向（Bidirectional）系指入射光与接受散射光的方向，因不同的入射光角度所产生的散射性质亦不相同。BRDF 主要应用在计算机仿真物体表面明亮度，与真实人眼所看物体之明亮度相符；另外可应用在背光模块之光学模拟，例如扩散膜之散射性质。测量波段OMS2测量系统可获得测量、提取材料在可见光以及近红外波段的光学属性，具体测量波段是400nm—670nm测量结果（1）材料表面光学属性BRDFa. 材料BRDF点阵数据在使用OMS2测量材料时，仪器中的光电倍增管（PMT）在2π空间内接受样品反射以及透射的光能量数据，因此测量后会得到离散型的点阵数据。b. 材料BRDF文件数据离散型数据直接被使用于软件仿真并不精确，所以所得的离散型数据必须经过数据处理才可使用，OMS2系统的工作站中带有由OPTIS研发出来的数据处理系统，经过OMS2数据处理软件的数据拟合、处理可得出精确的可直接使用.BRDF格式的文件结果中可以查看光的不同入射角度，以及不同波长时，光在材料表面反射、吸收的参数，并且还可查看反射的光型。（2）OMS2数据处理软件OMS2数据处理软件内含有OPTIS大量材料属性数据库，可对采集到的离散型数据进行处理拟合，生成.BSDF格式的材料面光学属性文件，以及.Material格式的材料体光学属性文件。生成的材料光学属性文件可在OMS2支持软件中使用。

已有样品/n在相关需求和学科发展的驱动下， 2004年开展了基于光纤干涉测量技术原理的大气光纤湍流测量技术研究， 次年完成了可行性方案论证工作， 2006年建成了原理样机系统， 该成果被国际光学权威刊物Applied Optics发表， 2011年完成实验样机系统的研制， 2015年完成了便携式光纤湍流测量系统的研制。 此后与相关大学和公司合作， 攻克了包括调制解调技术、 噪声抑制、 信号衰退等问题在内的多项关键技术， 并且在模块

本实用新型公开了一种水稻叶片组织光学特性参数的测量装置，包括通过光纤连接的光源系统、单积分球光路系统和检测系统，检测系统连接计算机，所述的光源系统包括：波段为250～2500nm的卤钨灯源；所述的单积分球光路系统包括：积分球；光斑调节器，安装在积分球上，包括金属管和/或透镜，用于控制光纤的光斑大小。本实用新型的测量装置光源采用具有连续波段的卤钨灯源和光斑调节器，解决了现有的测量装置在测量时需要切换不同波段光源的问题。

本发明公开了一种模拟人眼对光环境感知的光学测量系统，利用多种光学测量仪器以及相应的软件处理系统实现人眼对光环境感知的模拟。光学测量仪器包括平面亮度计、光谱仪和动态响应测试仪。本发明还公开了一种模拟人眼对光环境感知的光学测量方法，该光学测量系统亮度测量部分通过平面亮度计获取空间亮度分布，利用该亮度分布计算出当前条件下的瞳孔直径，进而计算出人眼感知到的空间亮度；通过调整光谱仪的测量视角获取人眼视野范围内接收到的光谱辐照度；通过动态响应测试仪测量动态响应信息。本发明提出模拟人眼对光环境感知的测量方法，该方法可对人眼感知空间光环境的特性进行全方位、实时的评价。

该产品基于自主研发的光学算法，展现光的几何、偏振、波动、量子等特性现象；应用3D仿真技术，模拟实验仪器操作过程，为普通物理、物理光学、光纤通信、激光原理与技术、信息光学等课程提供了有力的仿真教学平台！