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基于石墨烯的 MEMS 压力传感器
基于石墨烯的 MEMS 压力传感器，属于微机电系统（MEMS）的压力检测器件，解决现有 MEMS 压力传感器尺寸较大，灵敏度有限的问题。本实用新型包括基底、绝缘层，所述基底表面氧化形成绝缘层，绝缘层内刻蚀出空腔，绝缘层上表面覆盖石墨烯薄膜，将所述空腔封闭，石墨烯薄膜为 1~5 层；所述石墨烯薄膜边缘沉积两个金属电极，两个金属电极上分别焊接有导线。本实用新型采用石墨烯薄膜构成 MEMS 压阻式压力传感器，制备方法简单，可靠性好，压力传感器体积更小，从微米尺度变为纳米尺度，灵敏度更高，在 1~5 层内增
华中科技大学
2021-04-14
一种石墨烯微型流量传感器
本实用新型公开了一种石墨烯微型流量传感器，属于 MEMS 器件，用于气流流量测量，解决现有流量传感器功耗大、衬底存在热传导、响应时间长的问题。本实用新型之石墨烯微型流量传感器，衬底上具有凹槽，凹槽上架有隔热层，隔热层上溅射有加热体，加热体的两端溅射有电极。本实用新型的另一种微型流量传感器，衬底上具有凹槽，凹槽上架有隔热层，隔热层上覆盖有绝缘层，绝缘层上溅射有加热体，加热体的两端溅射有金属电极。本实用新型体积小、重量轻而且性能稳定，能有效降低衬底传热导致的测量误差，通过测量通入气体前后加热体的电阻差值
华中科技大学
2021-04-14
无线自供电液体泄漏报警传感器
本技术将自供电器件与超级电容器、蓝牙信号传输装置集成，成功制备液体泄漏检测器件。探究了电容的充电稳压机制在器件集成中的应用，在器件在接触到漏水后产生电压和电流为超级电容器充电，将峰值电压保持30 s以上，使能量收集芯片接收足够高的能量，激活并发送2 V以上电压脉冲信号，驱动蓝牙信号传输装置将漏水信号传送到中继点和云端，为用户提供漏水警报。
一、项目分类
显著效益成果转化
二、成果简介
1.采用碳纳米材料-Mg自供电器件替代传统的电池，可以做到遇水发电、不遇水不耗电，兼具对液体和湿气的传感功能，同时能够长时间工作。在传感器表面滴水100 μL后可以产生高达2.65 V的峰值开路电压和10 mA以上的峰值短路电流，并且能够在2 V的开路电压或1 mA的短路电流下，保持2小时以上的稳定输出；在80%以上湿度环境下可以产生1 V以上的开路电压和100 μA以上的短路电流，对环境湿气、湿度变化响应迅速（响应时间<2 s）。
2.碳纳米材料-Mg器件湿气自发电机理是电化学放电和碳纳米材料赝电容放电的叠加效应。氧等离子体活化碳纳米材料-Mg器件可以产生超过Mg还原电势的峰值电压，同时具有极高的响应灵敏度，是由于碳纳米材料表面的含氧官能团在电化学反应中部分还原放电，产生了赝电容效应，产生的电压与Mg的化学电势叠加，使峰值电压提高。此外，由于赝电容放电在碳纳米材料与水接触时立刻发生，因此可以大大提高器件的电压响应灵敏度，响应时间小于10 ms。
3.将自供电器件与超级电容器、蓝牙信号传输装置集成，成功制备液体泄漏检测器件，如图所示。探究了电容的充电稳压机制在器件集成中的应用，在器件在接触到漏水后产生电压和电流为超级电容器充电，将峰值电压保持30 s以上，使能量收集芯片接收足够高的能量，激活并发送2 V以上电压脉冲信号，驱动蓝牙信号传输装置将漏水信号传送到中继点和云端，为用户提供漏水警报。
哈尔滨工业大学
2022-08-15
阻性传感器阵列测量装置及方法
本发明公开了一种阻性传感器阵列测量装置，所述阻性传感器阵列为共用行线和列线的阻性传感器阵列；该测量装置包括：标准电阻行，其包括一行N个标准电阻，被增设于阻性传感器阵列中，从而得到一个新的共用行线和列线的（M+1）×N电阻阵列；（M+1）个运算放大器，与电阻阵列的（M+1）条行线一一对应，各运算放大器的反相输入端、输出端分别通过一根连接线与其所对应行线连接；控制器，其具有至少(M+1)个IO端口以及至少N个ADC采样端口，其中的(M+1)个IO端口与（M+1）个运算放大器的同相输入端一一对应连接，其中
东南大学
2021-04-14
二氧化硫传感器
量程：0～20ppm；分辨率：0.005ppm；检测大气、汽车尾气等气体污染情况。
宁波华茂文教股份有限公司
2021-08-23
二氧化碳传感器
量程：0～5000ppm，分辨率：20ppm；电极使用寿命为≥10000次；无源电机驱动；红外光谱分析，用于测量气体中二氧化碳的含量。
宁波华茂文教股份有限公司
2021-08-23
安徽中科米点传感器有限公司
HKM-安徽中科米点传感器有限公司是由中科院参股孵化的机器人力矩及
汽车碰撞测试力传感器项目的公司，
也是安徽省高专业度,以中科院及德国技术为导向开展六维力传感器的全方案定制设计、
研发及机器人传感器系统集成开发、生产的企业。
公司生产的六维力传感器具有高标准要求,性能稳定、
精度高，耐用等优点。公司已与国内部分国有企业高校等合作,
如:哈尔滨工业大学,合肥工业大学,
合肥哈工大机器人集团研究院,复旦大学,及军工定制产品等,公司致力打造集研发、
生产于一体的高科技密集型企业
安徽中科米点传感器有限公司
2021-12-07
小尺寸热流传感器TCT-11
产品详细介绍小尺寸热流传感器TCT-11主要用于尺寸限制场合应用，例如皮肤热流测试等。小尺寸热流传感器TCT-11热流经热流传感器（HFS），在传感器上产生轻微的温差。这种温度梯度与热流成正比。小尺寸热流传感器TCT-11内以适当方式排列的多个微型热电偶结（热电堆）产生电动势（mV）输出。电动势（mV）输出乘以校正常数，得到热流值。小尺寸热流传感器TCT-11应用领域：1)墙体、屋顶等的隔热评估；2)温室和土壤；3)生物医学；4)潜艇和船舶；5)管道；6)实验室和教学；7)炼油厂和反应堆；8)航空小尺寸热流传感器TCT-11规格：o 温度范围： -50°C~120°C o 热流范围：-2000 ~ 2000 w/m2o 精度： +/- 3%o 线性： +/- 2%o 标称灵敏度：20μV/ (w/m2)o 耐环境性：防水、不受压力或真空影响 o 尺寸：15 x 10 x 2.2 mm （长 x 宽 x 高） 可根据客户需求订做尺寸
上海图新电子有限公司
2021-08-23
二氧化碳传感器
产品详细介绍
量程: 0～50000 ppm,分辨率：25ppm；探头采用脉冲红外光源技术,红外灯闪烁周期不得高于3s。热电堆红外气体传感无需填充液.采用自由扩散式探测方式，数据传输端口为智能HDMI接口，支持与采集器的有线通讯和无线通讯。
江苏艾迪生教育发展有限公司
2021-08-23
一氧化碳传感器
产品详细介绍
量 程：0～500ppm 分辨率：1 ppm 数据传输端口为智能HDMI接口，支持与采集器的有线通讯、无线通讯和独立数据显示三种工作方式。
江苏艾迪生教育发展有限公司
2021-08-23