一种白光干涉原子力探针系统的成像自动调整装置及其控制方 法
本发明公开了一种基于白光干涉原子力探针扫描显微镜探针系 统的成像自动调整装置自动及其控制方法,该装置主要包括计算机, 夹持机构及铰链机构,原子力探针及其探针组件,白光干涉显微系统, 面 CCD 光路连接筒。在白光干涉原子力探针显微镜连接完成的情况 下,根据面 CCD 上探针的成像与面 CCD 坐标系的水平夹角,通过计算机来控制舵机偏转一定的角度,使得原子力探针在面 CCD 中的成像 与面 CCD 坐标系中的夹角在误差范围内,从而得到测量的结果有较小 的测量误差。本发明可以实现探针在面 CCD 中的成
华中科技大学
2021-04-14