本实用新型公开了一种石墨烯微型流量传感器，属于 MEMS 器件，用于气流流量测量，解决现有流量传感器功耗大、衬底存在热传导、响应时间长的问题。本实用新型之石墨烯微型流量传感器，衬底上具有凹槽，凹槽上架有隔热层，隔热层上溅射有加热体，加热体的两端溅射有电极。本实用新型的另一种微型流量传感器，衬底上具有凹槽，凹槽上架有隔热层，隔热层上覆盖有绝缘层，绝缘层上溅射有加热体，加热体的两端溅射有金属电极。本实用新型体积小、重量轻而且性能稳定，能有效降低衬底传热导致的测量误差，通过测量通入气体前后加热体的电阻差值

本技术将自供电器件与超级电容器、蓝牙信号传输装置集成，成功制备液体泄漏检测器件。探究了电容的充电稳压机制在器件集成中的应用，在器件在接触到漏水后产生电压和电流为超级电容器充电，将峰值电压保持30 s以上，使能量收集芯片接收足够高的能量，激活并发送2 V以上电压脉冲信号，驱动蓝牙信号传输装置将漏水信号传送到中继点和云端，为用户提供漏水警报。 一、项目分类 显著效益成果转化 二、成果简介 1.采用碳纳米材料-Mg自供电器件替代传统的电池，可以做到遇水发电、不遇水不耗电，兼具对液体和湿气的传感功能，同时能够长时间工作。在传感器表面滴水100 μL后可以产生高达2.65 V的峰值开路电压和10 mA以上的峰值短路电流，并且能够在2 V的开路电压或1 mA的短路电流下，保持2小时以上的稳定输出；在80%以上湿度环境下可以产生1 V以上的开路电压和100 μA以上的短路电流，对环境湿气、湿度变化响应迅速（响应时间<2 s）。 2.碳纳米材料-Mg器件湿气自发电机理是电化学放电和碳纳米材料赝电容放电的叠加效应。氧等离子体活化碳纳米材料-Mg器件可以产生超过Mg还原电势的峰值电压，同时具有极高的响应灵敏度，是由于碳纳米材料表面的含氧官能团在电化学反应中部分还原放电，产生了赝电容效应，产生的电压与Mg的化学电势叠加，使峰值电压提高。此外，由于赝电容放电在碳纳米材料与水接触时立刻发生，因此可以大大提高器件的电压响应灵敏度，响应时间小于10 ms。 3.将自供电器件与超级电容器、蓝牙信号传输装置集成，成功制备液体泄漏检测器件，如图所示。探究了电容的充电稳压机制在器件集成中的应用，在器件在接触到漏水后产生电压和电流为超级电容器充电，将峰值电压保持30 s以上，使能量收集芯片接收足够高的能量，激活并发送2 V以上电压脉冲信号，驱动蓝牙信号传输装置将漏水信号传送到中继点和云端，为用户提供漏水警报。  

本发明公开了一种阻性传感器阵列测量装置，所述阻性传感器阵列为共用行线和列线的阻性传感器阵列；该测量装置包括：标准电阻行，其包括一行N个标准电阻，被增设于阻性传感器阵列中，从而得到一个新的共用行线和列线的（M+1）×N电阻阵列；（M+1）个运算放大器，与电阻阵列的（M+1）条行线一一对应，各运算放大器的反相输入端、输出端分别通过一根连接线与其所对应行线连接；控制器，其具有至少(M+1)个IO端口以及至少N个ADC采样端口，其中的(M+1)个IO端口与（M+1）个运算放大器的同相输入端一一对应连接，其中

本项目开发了一种具有抗电磁干扰能力和报警精确度高的可恢复式缆式线型火灾探测传感器。此传感器大大拓宽了线型火灾探测器的应用领域，对保卫重要的工业企业及国防设施的正常运转，及早预报和发现初期火灾有着极为深远的意义，同时该项目已经取得了良好的经济效益。 我国线型火灾探测器的用量约为每年4000-6000公里，此部分市场均被国外产品占领。该种新型探测器投入应用后，已经全面取代国内外现有及进口产品。

北工业大学杨丽副研究员与宾州州立大学程寰宇(Huanyu Cheng)助理教授，利用激光直写技术，成功研制出具有自加热功能的激光诱导石墨烯柔性气体传感平台。该技术使用激光图案化的类似石墨烯的高度多孔纳米材料作为电极，以较具代表性的纳米材料（还原氧化石墨烯、二硫化钼或者两者的组合；氧化锌和氧化铜组成的金属氧化物复合材料）作为气体敏感材料，监测气体、生物分子和化学物质。该平台由多个传感器阵列组成，每个传感单元由LIG细线传感区域和Ag/LIG的蛇形连接区域组成。在连接区域创建银涂层的蛇形线条，通过向银涂层施加电流，气体感应区域由于电阻的逐渐增大而局部加热，从而实现自加热功能，替代了大多数可穿戴传感器的插指电极和额外的加热器，显著降低了加工的复杂度和设备能耗。此外，蛇形线条的设计可以使传感器像弹簧一样拉伸，以适应身体的不同弯曲变化，实现了可穿戴性。该平台在自加热升温条件下，可以实现对NO2气体的高选择性、超低浓度的快速响应和恢复，检测限可以达到1.2ppb。该成果以题为“Novel gas sensing platform based on a stretchable laser-induced graphene pattern with self-heating capabilities” 最近发表在《Journal of Materials Chemistry A》期刊上，并作为back cover 进行highlight 发表。

产品详细介绍小尺寸热流传感器TCT-11主要用于尺寸限制场合应用，例如皮肤热流测试等。小尺寸热流传感器TCT-11热流经热流传感器（HFS），在传感器上产生轻微的温差。这种温度梯度与热流成正比。小尺寸热流传感器TCT-11内以适当方式排列的多个微型热电偶结（热电堆）产生电动势（mV）输出。电动势（mV）输出乘以校正常数，得到热流值。小尺寸热流传感器TCT-11应用领域：1)墙体、屋顶等的隔热评估；2)温室和土壤；3)生物医学；4)潜艇和船舶；5)管道；6)实验室和教学；7)炼油厂和反应堆；8)航空小尺寸热流传感器TCT-11规格：o 温度范围： -50°C~120°C o 热流范围：-2000 ~ 2000 w/m2o 精度： +/- 3%o 线性： +/- 2%o 标称灵敏度：20μV/ (w/m2)o 耐环境性：防水、不受压力或真空影响 o 尺寸：15 x 10 x 2.2 mm （长 x 宽 x 高） 可根据客户需求订做尺寸

产品详细介绍 量程: 0～50000 ppm,分辨率：25ppm；探头采用脉冲红外光源技术,红外灯闪烁周期不得高于3s。热电堆红外气体传感无需填充液.采用自由扩散式探测方式，数据传输端口为智能HDMI接口，支持与采集器的有线通讯和无线通讯。

产品详细介绍 量  程：0～500ppm   分辨率：1 ppm 数据传输端口为智能HDMI接口，支持与采集器的有线通讯、无线通讯和独立数据显示三种工作方式。

产品详细介绍PCT-SD-DL动态电流倾角传感器主要特性：集成动、静态双模式组合算法。根据工作环境不同，产品自动切换动、静态测量模式。在多种工作环境下保证产品的高精度测量。当工作环境处于静态模式下，倾角传感器内部会采用静态算法，当工作环境处于动态模式，倾角传感器内部则会采用动态算法1)单、双轴倾角量测2)量程±1～±90°可选3)宽电压输入9～36V4)输出方式4～20mA5)高分辩率0.01°6)宽温工作-40～+85℃7)IP67防护等级8)高抗振性能>2000g9) 尺寸：L72.62×W42×H23.1mm产品应用：工程车辆调平               桥梁与大垻监测          高空平台安全保护  医疗设备角度控制           地下钻机姿态导航        盾构顶管应用 基于倾角的方向测量         地质设备倾斜监测        定向卫星通讯天线的俯仰角测量矿业机械、石油钻井设备     设备水平控制            对准控制、弯曲控制

随着5G时代的来临，实验室建设的智能化水平在飞速发展，不仅是新建实验室在建设中追求更加智能化，很多使用中的实验室也慢慢开始进行智慧化改造。智慧实验室的建设除了软件系统的开发，各类硬件产品也都在不断地升级换代。 而为了让我们的智慧实验室能够全方面的掌握实验室内部的各种情况，并且有数据可查，便需要使用多种传感器来获取实验室内的各项参数。一直以来，为了提高智慧实验室传感器的准确、快速、智能，埃松产品在不断地更新升级。目前，埃松智慧实验室传感器组件已广泛的应用于通风柜的变风量控制、实验室的微负压控制以及负压隔离病房的压力梯度控制。 位移传感器 安装于通风柜顶部，用于精准测量通风柜移门的开度，耐酸碱耐腐蚀、测量精度高、结构紧凑、安装便捷。 ● 测量范围：0～1000mm；0～2000mm； ● 轮彀材料：绝缘颗粒涂层阳极氧化铝； ● 线性精度误差：＜0.25%； ● 输出阻值：0-10KΩ与外部测量呈线性关系。 压差传感器/静压传感器 用于HVAC系统所需要的精确压力和流量测量，具有压力反应灵敏、长期输出稳定、温度性能优越等特点。 ● 实时测量实验室内外压差值或风机静压值； ● 传感器量程：-25Pa～+25Pa；-50Pa～+50Pa；0～500Pa；0～1000Pa； ● 传感器精度：在常温下为1% FS； ● 0～10VCD及4～20mA模拟输出。 区域传感器 用于检测通风柜是否有人占用，配合变风量控制系统，切换通风柜面风速和工作模式，实现节能减排。 ● 用于侦测通风柜的实时占用情况，当无人占用时切换至节能模式运行； ● 采用红外线和超声波探测技术结合先进算法，解决传统红外线传感器的盲区和误动作的缺陷； ● 可根据实际需求调整足迹区域范围和间隔时间。 房间温湿度传感器 用于HVAC系统所需要的精确温湿度测量，可用于污染环境和清洁环境，具有极高可靠性和长期稳定性等特点。 ● 介质：适用于空气和中性气体； ● 用途：HVAC暖通空调系统，用于HVAC系统所需要的精确温湿度测量； ● 可采用壁式或管道式安装，方便室内温湿度和管道温湿度等不同测量环境的应用； ● 采用金属烧结过滤帽，易清洗，可拆卸，透气防尘效果好； ● 采用专用的数字模块采集技术和温湿度传感技术，确保产品具有极高的可靠性和长期稳定性等特点。 柜内温湿度传感器 用于精确测量通风柜内的温湿度，可在高温高湿、高腐蚀的环境下使用。 ● 测量范围：温度：-20～100℃；湿度：0～99.9% RH； ● 测量精度：温度：±0.2℃；湿度：±2% RH； ● 分辨率：温度：0.1℃；湿度：0.1% RH； ● 传感器：改进型电容式湿度传感器元件+能隙温度传感器元件； ● 探头防护等级：IP67。 面风速传感器 面风速探头安装于通风柜立柱，精准测量，面风速测量元件表面具有防腐保护层，确保面风速传感器长期可靠稳定运行。 埃松产品与时俱进，持续对产品进行更新和升级，不断完善，更好地服务于实验室科研人员。