本发明公开了一种用于浸没式光刻的浸液温控系统，包括：用 于浸液流动的浸液管路，待温控的浸液通过一管路进口进入该浸液管 路，温控处理后的具有稳定温度的浸液通过该浸液管路的出口输出； 用于对所述浸液进行冷却的工艺冷却液回路，工艺冷却液在该回路中 循环流动；以及多个热交换器，其沿流向依次布置，所述浸液管路和 工艺冷却水回路同时流经每个热交换器，并利用各热交换器分别依次 完成工艺冷却液和浸液之间的热交换，从而通过多次换热获得具有稳 定温度的浸液，实现对浸液的温度控制。本发明的装置系统采用内部 回流结构与多级热交换器相结合，实现对浸液温度的多级控制，可以 实现浸没光刻中对浸液稳定的精确稳定的控制，提供温控效率。 

本发明公开了一种光刻掩模优化设计方法，该方法首先依据表 征掩模的网格格点尺寸大小对掩模进行分级，在粗网格上快速求解掩 模，然后对在粗网格上求解得到的掩模进行插值传播到下一级较细网 格上进行细化校正，最终实现了掩模的快速优化。 

研发阶段/n1、在该方向发表论文10余篇，Nature子刊，Science子刊各一篇。。2、申报和获得该方向相关发明专利8项。其中1项授权转让给Facebook，Sony和中国一家企业。在华中科技大学申报5项发明专利，依托武汉舒博光电技术有限公司申报2项发明专利。。3、研发出2代超分辨纳米光刻样机。。4、配备光学装备开发专门团队，初步建成光学精密制造和检测平台。

本发明公开了一种光刻掩模优化设计方法，该方法首先依据表征掩模的网格格点尺寸大小对掩模进行分级，在粗网格上快速求解掩模，然后对在粗网格上求解得到的掩模进行插值传播到下一级较细网格上进行细化校正，最终实现了掩模的快速优化。

本发明公开了一种用于浸没式光刻的浸液温控系统，包括：用于浸液流动的浸液管路，待温控的浸液通过一管路进口进入该浸液管路，温控处理后的具有稳定温度的浸液通过该浸液管路的出口输出；用于对所述浸液进行冷却的工艺冷却液回路，工艺冷却液在该回路中循环流动；以及多个热交换器，其沿流向依次布置，所述浸液管路和工艺冷却水回路同时流经每个热交换器，并利用各热交换器分别依次完成工艺冷却液和浸液之间的热交换，从而通过多次换热获得具有稳定温度的浸液，实现对浸液的温度控制。本发明的装置系统采用内部回流结构与多级热交换器相结合，

拥有人工微结构科学与技术协同创新中心、固体微结构物理国家重点实验室、半导体节能器件及材料国家地方联合工程中心以及江苏省光电信息功能材料重点实验室等科研平台，在硅基纳米结构材料与性能调控，硅基光子学器件和新型能源器件等基础研究领域具有很强的影响力。近年来，在硅基太阳能电池片研发及其新型结构材料在电池片上应用等方面开展了全方位的研究，承担完成了国家重点基础研究发展计划课题和国家自然科学基金重点项目等相关课题的研究。提出了渐变带隙的纳米硅量子点电池结构，利用渐变带隙进一步拓宽电池的响应光谱范围，发展了包

技术途径：利用声学传感器，于紧靠被测声源物体表面的测量面上记录全息数据，然后通过空间声场变换算法，如Helmholtz方程最小二乘法 (HELS)，重构三维空间空间声场。该技术主要用于汽车产品及机械产品的声源识别和定位，声场可视化。项目优势：（1）实验设备精度高，配套软件底层算法先进，实验结果准确可信。（2）实验设备体积较小，测试对象要求较低，准备工作较少，试验周期较短。  投资规模及设备需求: 50-100万人民币。项目研究阶段：技术成熟  项目效益分析：为产品降噪作出指导，提高产品质量。

产品详细介绍台面：含磁不锈钢板，多层减震,曝光定时器、光电开关、扩束镜组、半反半透镜组、氦氖激光器、磁力表座、调节架、全息干版、等多种附件组成。 可做白光在现，二次彩虹等实验 日元贷款中标产品.  

智慧全息电钢琴互动教室     基于“全息钢琴”引擎技术，五线谱智能编辑技术，钢琴谱多维播放技术等多项独创核心技术以及系统配置的全息钢琴谱曲库，实现了专业钢琴谱讲解、教师弹奏示范、琴谱跟弹练习、左右手分弹练习、“瀑布流”弹奏练习、弹奏自动评测、演奏回放讲评等核心教学应用。高效支持了钢琴教学中的“教、学、练、评、演、创”。 满足专业电钢琴互动教学及普及音乐教学的需求。 系统拓扑布局 教师：   · 触摸屏与教学大屏同屏显示、双向控制。在弹奏过程中无需起身，即能调整教学内容；   · 师生视频通话双向互动，音画同步高效指导；   · 所有学生智慧电钢琴一键开关机控制，高效管理课堂。   学生： · 超A0大幅面的学生指法采集仪，88键电钢琴琴键全覆盖，完整清晰记录学生弹奏指法；   · 双色灯条提示功能，真正实现了弹奏全息钢琴谱的正确用手、指法、键位信息提示；   · 学生智慧电钢琴与教学大屏同步显示，便于学生观看授课过程、教师演奏示范；   · 学生软件支持多模式弹奏练习、弹奏自动评测、自主创编学习等。 全息电钢琴互动教室教学系统软件介绍 《厚吉全息电钢互动教室授课软件》 全息电钢互动教室授课软件是一套集成化教学平台软件，包括：钢琴谱教学、学生弹奏教学、器乐教学、歌唱教学、乐理教学、创编教学、音乐白板互动教学、多媒体播放等多个教学模块。 《厚吉全息电钢互动学生软件》 全息电钢互动学生软件支持琴谱播放、跟弹练习、瀑布流练习、弹奏评测、琴谱演奏、谱曲创编、创编试听等，让学生循序渐进的进行学习、练习。 《厚吉音乐教学备课软件》 独立的音乐教学备课软件，让老师随时随地完成教案编写、课件制作。专业的音乐符号、演奏记号等，保证教案、课件、试卷的正确性，专业性。音频、视频、动画、图片、文本、表格等多种对象的支持，丰富课件内容。 《厚吉钢琴谱编辑软件》 独立的钢琴谱编辑软件，专业的钢琴谱乐符、演奏记号等音乐符号，方便制作专业钢琴乐谱；可对弹奏指法进行标注；可进行左右手弹奏试听。 全息电钢琴互动教室教学资源平台 核心技术 《厚吉全息电钢琴互动教室教学系统》是一款集成“全息钢琴”、“全谱器乐”与“全能歌唱”的综合数字音乐教学平台。 全息钢琴技术引擎具有音符与指法等弹奏信息自动提示功能，有效地解决了初学者在练习过程中的困境。全息钢琴技术引擎是唯一真正实现了琴谱左右手分弹播放与练习的引擎技术；基于全息钢琴技术引擎构建的全息钢琴谱是在传统五线谱音符符头上增加了指法信息的新型钢琴谱；系统配置了千余首全息钢琴谱。           智慧全息电钢琴的超A0幅面学生指法仪，全覆盖88键电钢琴琴键，完整呈现和记录学生弹奏指法的可视化信息；双色弹奏指示灯提示弹奏全息钢琴谱时的正确用手、指法、键位信息。软件、硬件、资源三位一体贯通融合全方位支持“全息钢琴”教学。         全谱器乐基于自主创新研发的五线谱与简谱智能生成小乐器参照图示、多模式播放等多项核心技术、7类小乐器专属音源库，结合全息钢琴的指法仪构建新型创编课程，将口风琴、竖笛六孔、竖笛八孔(英式)、竖笛八孔（德式）、笛子、陶埙八孔、陶埙十孔、陶笛六孔、陶笛十二孔、葫芦丝、洞箫等器乐的识谱教学、歌曲教学、器乐教学、创编教学有机结合，实现了音准训练、多种节奏训练与创编表现。教师根据需要将五线谱与简谱的音符、乐句、乐谱灵活生成为指定的小乐器指法参照图示。全谱器乐谱采用规范统一的指法与吹法标示，学生根据当前所学触类旁通快速提升。         全能歌唱是一种全新音乐教学理念和模式，以歌曲演唱和创作为核心，通过数字化技术手段，实现五线谱和简谱的范唱、节奏、旋律、哼唱、唱名、试唱、伴唱等多种方式教学，并可对词曲灵活改编、创作和表演，学生的创作成果不仅能够呈现，还能通过系统试唱出来、分享出去，让学生在实践中创造与进步。 更多智慧全息电钢琴互动教室详情请访问公司官网：http://www.gdhouji.com

一、成果简介 纳豆是日本的一种传统大豆发酵食品，由纳豆菌在一定温度和湿度下发酵大豆制备而成，距今已有2000多年的历史。纳豆的营养价值丰富，一直被视为药食同源的食品。研究发现纳豆中含有大 量丰富的生理活性物质如纳豆激酶、异黄酮、皂青素、维生素K2等。常吃纳豆可改善人体肠道微 生态平衡、预防痢疾、肠炎和便秘等疾病；同时还能起到降低血脂、预防大肠癌、降低胆固醇、软 化血管、预防