一种适用于纳米材料操控的多自由度纳米操作台
本发明公开了一种适用于纳米材料操控的多自由度纳米操作台,包括底座、Z 向位移台、XY 向位移台和纳米操作臂,其中 Z 向位移台沿着竖直方向设置在底座上,包括彼此连接的固定部件和安装有 Z 向直线驱动电机的移动部件;XY 向位移台沿着水平方向设置在 Z 向位移台的移动部件上,并包括彼此并联滑动连接的第一至第三并联部件,其中第一并联部件上安装有 Y 向直线驱动电机,第二并联部件上安装有 X 向直线驱动电机,第三并联部件上安装有旋转运动驱动电机和纳米操作臂。本发明通过对驱动电机与位移台的高精度控制以及主要
华中科技大学
2021-04-14