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本发明公开了一种硅通孔结构的制造方法，包括以下步骤：将硅片的厚度减薄至 5 微米至 20 微米；去除硅片表面的所有绝缘层；在硅片的导电区表面和绝缘区表面制作掺杂掩膜，以对导电区和绝缘区分别进行粒子掺杂，绝缘区与导电区掺杂的粒子的极性相反；在粒子掺杂完成后去除掺杂掩膜；在导电区表面覆盖金属电极；在硅片的表面除金属电极之外的区域覆盖绝缘层。本发明的方法制造工艺简单，可避免刻蚀、绝缘处理等工艺对硅片的破坏，并能够提高制造硅通孔结构的成品率。本发明还公开了一种硅通孔结构。

型号： VMC330 产品特点： 1、整机各大铸件皆采用高级HT250铸铁铸造，均经过完全退火处理，消除残留内应力，久不变形。 2、导轨为台湾Hiwin上银直线导轨，采用完全支撑设计，确保切削稳定性、滑道精度及机械寿命。 3、三轴C3级精密滚珠丝杆,经中周波热处理及精密研磨，各轴施以预拉减少热变形，定位及重覆精度高。 4、所有机器出厂经雷尼绍激光干涉仪精确检测，确保三轴精度背隙,保证定位精度。 5、三轴均采用伺服驱动，传动平稳、精度高、扭力大。 6、三轴轨道以防尘防屑伸缩护罩包覆，保护轨道及滚珠螺杆免与切削水、残料进入造成磨损。 7、标配Xendoll 工业级数控系统，可选配其他数控系统。 8、主轴为BT30，传递切削扭矩大，配置8工位刀库，换刀时间短，换刀动作安全可靠，可极大提高复杂产品的加工效率及加工精度。 9、主轴电机采用2.2KW伺服主轴电机及驱动，功率大，主轴能定向换刀可刚性攻牙。 10、电子手轮三档可调极大地方便操作和对刀。 11、立柱内加平衡配重块，主轴上下运行平稳。 12、全封闭式的钣金护罩,确保工作区的清洁及工作安全。 13、配置间歇润滑系统，全防护结构及配置气动拉刀系统。 14、集成水箱及水泵系统，程序或手动控制加工冷却液的开关。 15、空压检测开关，在气压低于额定压力时报警，确保加工及换刀的安全。 16、加工残碴收集装置，清洁方便、简单；整机外观美观大方，结构紧凑。 17、可选配数控分度头（第四轴），加工更复杂的零件，数控分度精度零回差，定位精度达0.005mm。   适合行业： 工厂小零件批量生产加工、可连续24小时工作，可自动换8把刀、具备铣削、钻孔、攻牙等功能，可把机器搬到办公室，性价比超高，让中小企业、数控培训、科研单位用得起的设备。   技术参数   工作台尺寸   690mm*210mm   工作台最大承载   100KG   X轴行程   330mm   Y轴行程   220mm   Z轴行程   310mm   控制系统   Xendoll 工业级数控系统（可选配其他数控系统）   主轴电机类型   伺服主轴(可刚性攻丝)   主轴电机功率   2.2KW   主轴电机转速   100-6000转/分钟   主轴锥度   BT30   定位精度   0.02mm   重复定位   0.015mm   快速移动速度   10 m/min   X、Y、Z轴电机扭矩   2.4 N.m   X、Y、Z伺服电机功率   750W   自动换刀系统形式   气动换刀   换刀时间   5s   刀库数量   8工位   T型槽数量-宽-间距   3-16mm-63mm   主轴端面至工作台面   90-400mm   主轴中心至立柱导轨面   280 mm   输入电压   380V/50Hz   润滑系统   自动间歇润滑   使用气压Mpa   0.6Mpa   净重/毛重   900KG/1000KG   外型尺寸   1400mm*1650mm*1900mm   数控分度头(第四轴)   支持数控分度头（选配）   精度检测设备   采用雷尼绍激光干涉仪精确检测   随机配件： BT30刀柄1把、 BT30刀柄拉钉1个、锁头1个、铣刀1把、锁刀座1个、钩头扳手1个、快速平口钳1个、螺丝刀2把、T型螺母4个、外六角螺栓4个、平垫4个、双头扳手1把、防震垫铁4个、内六角扳手1套、说明书1套。（配置不同或有细微区别，以实际为准）   可选配件： 快速平口钳、组合压板、6件套进口硬质合金刀、7件套HSS键槽铣刀、Z轴对刀器、偏心式寻边器、BT30锁头套件、BT30锁刀座、0.6Mpa空压机、数控分度头（第四轴）等。（配置不同或有细微区别，以实际为准）

Ø  成果简介：具有对新型高硬超高强度钢、不锈钢、新型复合材料、钨合金、硅铝合金和灰铸铁的精密高效切削工艺和刀具成套技术。开发了能对FMS的刀具管理和可靠性寿命进行预报，对金刚石涂层刀具薄膜与基体结合强度、新型刀具材料切削性能进行分析的系统软件以及高速孔加工刀具CAD软件系统。切削高硬超高强钢的速度可达150m/min，切削不锈钢的速度可达200m/min，提高生产效率30%。Ø  项目来源：自行开发Ø  技术领

具有对新型高硬超高强度钢、不锈钢、新型复合材料、钨合金、硅铝合金和灰铸铁的精密高效切削工艺和刀具成套技术；开发有对FMS的刀具管理和可靠性寿命预报、金刚石涂层刀具薄膜与基体结合强度、新型刀具材料切削性能分析的系统软件；高速孔加工刀具CAD软件系统。切削高硬超高强钢的速度可达150m/min，切削不锈钢的速度可达200m/min。提高生产效率30%。

"内窥镜检测技术在临床已成为重要的，无法替代的诊断手段，配合内窥器械，还可以取病变部位的组织用作病理分析，或结合手术等方式，对病变部位直接切除或治疗。目前在临床广泛应用的主要为内窥镜白光成像。 在白光成像中判别疾病组织主要依赖医生的经验，导致较高的漏诊率和误诊率。近红外荧光内窥成像系统成像深度达到5～10毫米，能够看到白光成像无法看到的病灶组织，直观地显示病灶，实现对肿瘤、炎症溃疡等多种病理和生理组织的精准诊断与治疗。本系统可进行实时同屏成像，医生提供可见光图像和荧光图像。"

本发明公开了一种直拉硅片的内吸杂工艺，包括：(1)在氮气氛下，将直拉硅片以50～100℃/秒的速率升温至1200～1250℃，维持30～150秒，然后以5～50℃/秒的速率冷却至800～1000℃，接着自然冷却；(2)将经步骤(1)处理后的直拉硅片在氩气氛下于800～900℃退火8～16小时。本发明仅包含两步热处理工艺，所需温度和时间比现有工艺的要低，热预算显著降低；另外体微缺陷的浓度和洁净区宽度可以很方便地通过第一步快速热处理的温度、时间和冷却速率得到控制。

本实用新型公布一种对流体运输管道内部状况进行定期检查的管道内况检测机器人，属于检测机器人技术领域。包括为机器人提供电力的电源、控制机器人运动的驱动模块、与驱动模块相连的推进机构、对采集到的数据和外部指令进行处理的数据综合处理模块、用于信息传输的通信及数据传输模块、用于采集外部信息的多种参数感知模块和拍照记录存储模块。本实用新型能及时方便的检测管道内的具体状况并且检测范围大；不限定机器人能够进行采样的数据类型、参数种类，可由工程技术人员依据当前需求，自主改进，加装相应装置以满足测量目的。