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一种微机电系统的圆片级真空封装方法
一种微机电系统的圆片级真空封装方法，属于微机电系统的封装方法，解决现有封装方法存在的问题，使得微型真空腔长时间保持真空，满足十年以上使用寿命的要求。本发明包括：刻蚀步骤：在盖板圆片上对应硅基片 MEMS 器件的位置刻蚀相应空间尺寸的凹坑，再环绕凹坑刻蚀环形凹槽；吸气剂淀积步骤：在所述凹坑和凹槽内淀积吸气剂薄膜；键合步骤：在真空环境下将盖板圆片和硅基片紧密键合。本发明解决了现有封装方法存在的真空保持时间短、密封质量低、可靠性差、成本高的问题，可以长时间保持微型腔体内的真空度，极大的推动圆片级 MEMS
华中科技大学
2021-04-14
高效纳米级工业水处理除氯剂的制造技术
氯根是原水中所含的CL-1 是天然水中重要的阴离子。由于近年来水资源的短缺人们开始使用地下水或者其他自然水源，使锅炉补水中的氯离子含量居高不下，且在炉内高浓缩条件下氯根可达2000mg/L以上。锅炉内氯根含量高可能造成氯的腐蚀，成为锅炉运行的隐患之一。 同样工业循环冷却水在浓缩过程中，除重碳酸盐浓度随浓缩倍数增长而增加外，其他的盐类如氯化物等的浓度也会增加。当Cl-离子浓度增高时，会加速碳钢的腐蚀。Cl-会使
南开大学
2021-04-14
一种纳米级尺寸结构测量方法及装置
本发明公开了一种纳米级尺寸结构测量方法及装置，可以同时测量纳米级尺寸结构宽度、深度、侧墙角等参数。本发明方法步骤如下：将白光光束经滤光、起偏后垂直投射到包含纳米级尺寸结构的样件表面；采集样件表面反射信号，计算得到纳米级尺寸结构显微成像图；将测量离焦扫描成像分布图与理论离焦扫描成像分布图进行匹配，提取得到待测纳米级尺寸结构的几何参数值。本发明所提供的纳米级尺寸结构测量装置，能为纳米制造技术如传统光刻和纳米压印等基于图形转移的批量化制造技术中所涉及的各种典型纳米级尺寸结构，如孤立线条阵列结构、密集型线条
华中科技大学
2021-04-14
新一代硅烷法电子级晶体硅生产技术
上海交通大学
2021-04-13
极光尔沃A9,工业级大尺寸高精度，厂家保障
深圳市极光尔沃科技股份有限公司
2021-08-23
BDS小博士工作站第一级套装配置
产品详细介绍可以完成小博士工作站第一级中所有非电子功能件的全部样品组装，项目名称具体如下：墙、亭子、矩形框架、支撑架、跷跷板、桥、曲柄摇杆、连杆机械手、雨刮器
东莞市博思电子数码科技有限公司
2021-08-23
RXDent-L190 桌面级树脂3D打印机
RXDent-L系列是瑞通推出的一款高效率打印机，也是针对批量生产打造的一款桌面级3D打印机。精致的外观设计与良好的交互体验，使数字化生产更便捷、更高效，为实现生产数字化转型提供最优解决方案。
行业应用
· 口腔正畸
· 文创与个性化定制
广州瑞通增材科技有限公司
2022-10-19
图像级超高分辨率高性能 激光雷达
Pandar128 图像级超高分辨率高性能激光雷达
上海禾赛科技有限公司
2022-03-01
陕西省获批建设国家级知识产权保护中心
至此，全国在建和已建成运行的国家级知识产权保护中心数量达到61家
国家知识产权局
2022-10-14
130公斤级共轴反桨无人直升机F-120
F-120无人直升机是北航技术团队自主研发的多用途无人直升机。该机型最大起飞重量130kg，最大航时2小时，在可靠性连续测试中，其MTBF（连续无故障时间）可达到7小时。该机于2010年完成设计，拥有独创的水冷散热系统、气动与冷却的融合设计、采用体积小，重量轻，振动小的转子发动机等多项先进领先技术。该无人机可以执行海面、湖面、高海拔地区等复杂环境的超视距飞行任务，应用领域广泛，包括对地侦查/观测、电力/管道巡检、数据/中继通信、农业/林业测绘、航空测绘/摄影、警用反恐/防暴等多个领域。 该无人机经试验改进，以其优异的气动效率、重量效率、续航能力及操稳特性受到农业部和航空植保企业的高度重视，在农用无人机领域是目前国内载荷最大、性价比最高的无人直升机。该机喷药40亩农田只需15分钟，是传统小型无人直升机作业效率的3倍以上，符合我国精准农业、规模化经营的发展趋势。
北京航空航天大学
2021-04-10