同腔原位复合沉积铱-氧化铝高温涂层设备与工艺
同腔原位复合沉积铱?氧化铝高温涂层设备与工艺,涉及化学气相沉积技术领域。设备包括反应腔体系统、四条管路系统、真空系统和尾气处理系统,系统之间通过管路密封连接。四种前驱体源置于源瓶中,源瓶与四条管路分别相连。通过四个气动阀调控前驱体源的通入,N2作为源的载气,真空泵系统为设备提供一定真空度,尾气处理处理系统对反应后产物进行处理后排放;通入Al(CH3)3、H2O源,ALD沉积复合材料的Al2O3层,通入Ir金属化合物、O2源,ALD沉积复合材料的Ir层,将Ir化合物源通入反应腔内高温分解,CVD沉积Ir层。按照复合涂层工艺方案沉积,得到耐高温抗氧化、高粘附力、抗热震的Re基Ir?Al2O3复合涂层材料。在航空航天、能源动力以及国防等领域具有广泛的应用。
东南大学
2021-04-11