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硅单晶碱性抛光液及清洗液
一、 项目简介“硅单晶碱性抛光液及清洗液”项目,始自七十年代中期,不断对产品研发与升级。FA/O硅单晶碱性抛光液,具有较高的抛光速率,能有效去除衬底表面损伤层,表面微粗糙度较低,可解决衬底片结底不平引起的噪声增加、漏电流增大,实现了表面高完美性,提高了衬底片器件区的可靠性与衬底片良品率。FA/O硅单晶清洗液,采取特有的物理优先吸附,有效去除抛光片表面颗粒物、有机物沾污,清洗后衬底片表面重金属离子降至ppm级,达到了易清洗、高洁净。二、 项目技术成熟程度该项目的研发、应用,满足了硅单晶衬底片加工高去除速率、低表面粗糙度、高表面完美性、易清洗、高表面洁净、高可靠性等指标的工业要求。自1994年至今,产品已累积销售一千多吨,性能稳定、质量可靠。三、 技术指标(包括鉴定、知识产权专利、获奖等情况)抛光液抛光速率1.2-1.5um/min,粗糙度达A级。清洗剂可达到微电子的需求。研发的抛光液获国家1983年发明四等奖、1990年发明三等奖、清洗技术获1999年国家三等奖。抛光液、抛光清洗液列为国家级科技成果重点推广计划,列为国家重点新产品。申请专利授权中3项,授权6项。四、 市场前景(应用领域、市场分析等)据统计,仅中国(含台湾地区)硅单晶抛光液的年需求额40多亿元。FA/O硅单晶碱性抛光液,广泛用于硅分立器件、功率器件与集成电路衬底片加工。已多年供应国内华润华晶、洛阳鼎晶、深圳深爱等多家知名企业,被指定唯一用于国家航天神五至神十专用集成电路高可靠衬底抛光片加工,具有广泛的市场应用前景。FA/O硅单晶清洗液,广泛用于要求易清洗、高洁净的硅衬底片清洗。已被中科晶电信息材料有限公司等多家知名企业应用,市场应用前景广泛。五、 规模与投资需求(资金需求、场地规模、人员等需求)年产量5000吨的生产规模投资为约3000万元,需千级以上超净化厂房。可依产能需求调整资金投入。产品生产控制节点少,操作人员需求少,适于自动化生产。六、 生产设备低压真空系统、百级超净车间、去离子水系统等。七、 效益分析生产工艺与操作简单、成本低、环保性好,效益较高。八、 合作方式主要采取合作生产、代理代销,可提供技术支持与培训,或面谈。九、 项目具体联系人及联系方式(包括电子邮箱)项目联系人:刘玉岭 联系电话:022-60204128Email:liuyl@jingling.com十、 高清成果图片2-3张
河北工业大学 2021-04-11
面整体光固化快速成型方法及装置
面整体光固化快速成型加工方式是把实体的截面层信息利用LED光源组转化成对应的光学图像照射光敏树脂实现光固化快速成型加工。实现本加工方式的光学系统包括:LED光源组、传导光纤、自聚焦纤维透镜组、自聚焦显微透镜固定盘、成像透镜。自聚焦显微透镜固定在自聚焦显微透镜固定盘上,自聚焦纤维透镜固定盘在成像透镜上方。本发明具有实体成型加工效率高、实体成型质量好、设备结构简单、成本低、寿命长等优点。
西安科技大学 2021-04-11
煤田火区动态演化规律及控制新技术
西安科技大学自 2007 年开始就对煤田火区动态演化规律及控制新技术着手开始研究,目前此项技术已经成熟并在全国开始推广应用。该成果于 2011 年 12 月 29 日由中国煤炭工业协会经会议鉴定,达到国际先进水平;成果于 2012 年 9 月获陕西省科学技术进步一等奖,该项目申请专利 6 项。煤田火区识别、控制及治理技术与开发的装备在四川省攀枝花市宝鼎矿区 4# 煤层露头火灾治理工程、新疆温宿博孜敦 4# 煤层火区综合治理工程、中煤平朔一号井工矿上窑火区治理工程和内蒙古古拉本煤田火区灭火工程等多项防灭火项目中应用。  
西安科技大学 2021-04-11
搅拌反应器混沌混合强化技术及应用
发现了混沌混合调控流场结构以及强化高粘度流体混沌混合过程的 规律;研发出刚柔组合桨和高粘度流体混沌混合技术;研发出多相流搅拌强化技 术;研发了电机换向耦合刚柔组合桨强化技术等新技术。
重庆大学 2021-04-11
MEMS 耐高温压力传感器及技术
该项目应用先进的MEMS技术,研制完成了耐高温压力传感器设计、制造关键技术及系列产品开发。解决了一直困扰航空航天、石油化工、军工、能源电力等领域因高温、高频响、高过载、微型化、瞬时高温冲击等恶劣环境下的压力、力、加速度测量难题。该成果获得2006年度国家技术发明二等奖、2005年度教育部技术发明一等奖、2004年度陕西省科技进步一等奖和2004年度西安市科技进步一等奖四项奖励。相关技术已获得国家授权发明专利20余项。
西安交通大学 2021-04-11
雷电流测试关键技术及系列测试设备
本项目在西安交通大学电力电子专用设备研究所成功转化,本项目围绕雷电效应测试所涉及的高性能开关、控制、测量及设备集成等关键技术进行研究,开发了 30 余种雷电效应系类测试设备,其核心器件及设备的性能指标达到国际领先水平,解决了是电力输配电、航空航天器等的雷电流测试与防护难题,在国家检测中心、电网公司、华为、中国商飞公司等 200 余家科研院所和企业推广应用,并出口美国、瑞典、泰国等地,产生了显著的经济和社会效益,提高了我国雷电效应测试设备的国际竞争力,促进电力输配电、电子与通信、航空航天领域的发展,并带动其它相关行业的技术进步。
西安交通大学 2021-04-11
生物降解及保健型口香糖
研发阶段/n目前国内外口香糖胶基大多数为橡胶材料和树脂胶基。这类胶基废弃之后具有很强的粘性,难以从地面、桌椅或其他公共场所、公共设施上清除,而且在自然界中难以降解(100年以上才能降解),因而产生一系列的环境污染。据媒体报道:2002年国庆节期间,北京市环卫局不得不出动十几万人次的清洁工,花费一周时间集中"清剿"天安门广场上的六十多万个口香糖残迹(据估计,清除一个口香糖残迹就要耗费一块多钱)。由此可见,如何有效地解决口香糖的污染问题已成为各级政府部门急需解决的一个难题。因此,需要研制一种废弃以后,能
华中农业大学 2021-01-12
粒子束激发磁光谱-测试服务及设备
可以量产/n该项目来源于国家自然科学基金、科技部对俄合作专项、一带一路专项。目前测试服务用户40 多个,来自国内20 个省市、国外个别单位。投产后年产值可达600-800 万元,净利润150-200 万元。主要技术指标:(1)紫外磁光谱:提供紫外偏振光谱、磁圆二向色性、磁圆偏振荧光谱测试服务,磁场1.5T,温度12-300K,波长380-980nm。设备为自研,可生产紫外磁光谱仪。(2)深紫外磁光谱:研发100-300nm
武汉大学 2021-01-12
变轴数控机床及并联机构应用
Ø  成果简介:变轴数控机床(也称虚拟轴机床或并联机床)是基于构造上新构思、刀具运动的新原理、数学运算的新方法提出的。该数控机床主要应用并联空间机构作为机床的主体机构。在运动学原理上或结构上皆迥然不同于传统数控机床。其特点是将机械的简单性与数学的复杂性融为一体的高技术设备。基于并联机构的变轴数控机床重量轻,刚度大、精度高,刀具具有六个运动自由度。突破了机械结构设计对传统工艺依赖的限制,可解决尖端装备中复杂曲面、复杂几何形状零件以及复杂模具精密加工任务,为先进制造技术的发展提供一种
北京理工大学 2021-01-12
低地板轻轨车牵引及辅助变流系统
简述:“十一五”国家科技支撑计划重点项目“ 100% 低地板轻轨车研制 ” 最新科技成果,由北京交通大学联合长春轨道客车股份有限公司、北京千驷驭电气有限公司等单位研制生产,拥有完全自主知识产权,采用矢量控制、防滑 / 防空转、零速停车、网络监测及故障诊断、数字高频控制等先进技术,具有结构紧凑、模块化、轻量化、低噪声、人性化等特点。装备该系统的我国首列 100% 低地板车已在长春轻轨进入试运营阶段。
北京交通大学 2021-04-13
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