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薄膜材料生长系统
集成电路产业需要大量高端薄膜生长设备，上个世纪80年代，MBE作为一种尖端技术，国外就对中国进行了技术封锁，禁运中国。甚至在今天，MBE仍然属于美国对中国出口的管制类产品，每一台都要经过复杂的审批过程。
南京大学
2021-04-10
残余应力原位高能声束调控系统
残余应力原位高能声束调控系统通过高能声束耦合模式能够实现对任意曲面固体材料内残余应力的进行消减，具有单通道和多通道阵列消减模式，利用高能弹性波的能量改变残余应力势能场，从而达到消减和调控残余应力集中区域的目的。
北京理工大学
2021-02-01
汽车线束工艺开发系统软件
成果简介：汽车线束是汽车电路、电信号控制的载体，素 有汽车神经之称。每辆汽车中平均需要 65 套线束，市场需求量 超过 10000 万套。汽车线束企业虽已普遍采用 CAD 软件，但工 艺流程仍是人工设计，迫切需要一种有效的工艺设计与信息管 理系统，提高工艺设计效率和质量。 主要功能包括：辅助线束工艺设计人员完成标准模板图和 排线图的绘制，内联工艺卡和预装工艺卡的设计，自动生成下
合肥工业大学
2021-04-14
一种光功率分束器
本发明公开了一种光功率分束器，包括衬底以及在衬底上自下 而上依次排列的包层、下导波层和上导波层；上导波层为图形层，沿 水平面上向右方向依次刻蚀有输入波导、准直透镜、光束整形透镜组、 相移光栅、傅里叶变换透镜、第一相位补偿结构、直流分量相移器、 第二相位补偿结构和输出波导阵列；其中，准直透镜、光束整形透镜 组、相移光栅、傅里叶变换透镜、第一相位补偿结构、直流分量相移 器和第二相位补偿结构的厚度相同；输入波导和输出波导阵
华中科技大学
2021-04-14
一种多光束分束器
本发明公开了一种多光束分束器，其特征在于，所述多光束分 束器为柱状光波导，所述光波导的横截面为等边多边形，边数为 L； 工作时，待分束的光束与光波导的主轴呈锐角，从光波导的一端入射， 入射后的光束在所述光波导内经光波导不同的侧面多次全部反射，最 终均匀分成多束子光束从光波导另一端出射。本发明提供的多光束分 束器，结构简单，分束均匀，尤其是能实现奇数份均匀分束，光损耗 小，可实现分光器复用，并可应用于光通信、光检测等领
华中科技大学
2021-04-14
一种多光束分束器
本发明公开了一种多光束分束器，其特征在于，所述多光束分 束器为柱状光波导，所述光波导的横截面为等边多边形，边数为 L； 工作时，待分束的光束与光波导的主轴呈锐角，从光波导的一端入射， 入射后的光束在所述光波导内经光波导不同的侧面多次全部反射，最 终均匀分成多束子光束从光波导另一端出射。本发明提供的多光束分 束器，结构简单，分束均匀，尤其是能实现奇数份均匀分束，光损耗 小，可实现分光器复用，并可应用于光通信、光检测等领
华中科技大学
2021-04-14
东南大学分析测试中心聚焦离子束双束系统采购公开招标公告
东南大学分析测试中心聚焦离子束双束系统采购 招标项目的潜在投标人应在微信公众号“苏美达达天下”获取招标文件，并于2022年06月16日 14点00分（北京时间）前递交投标文件。
东南大学
2022-05-27
硅基上III-V的直接外延及器件集成
采用光互连技术可以有效的解决集成电路进一步发展的尺寸限制同时可以极大的提高芯片间信息传输的速度和频率。Si基光子集成是实现集成电路光互联的核心技术和重要研究方向。然而，Si因为其间接带系的特性很难作为发光材料使得Si基光源的缺失成为制约Si基光子芯片的瓶颈，而传统Ⅲ-Ⅴ族材料如GaAs，InP等由于优良的光电转换效率已经在光电子器件领域得到广泛的应用。因此，Si基与Ⅲ-Ⅴ的集成是实现Si基光子芯片的一种理想途径。
南京大学
2021-04-14
采用氢化物气相外延（HVPE） 技术制备 GaN 衬底
成果简介随着技术发展， 对于大功率白光 LED 而言， 发光效率的提高一直是个瓶颈。针对 GaN 基器件， 由于同质 GaN 衬底价格昂贵， 因此一直没有被普遍应用到 GaN基材料生长领域。 目前一般采用在异质衬底上生长 GaN 基材料， 国内外一般采用蓝宝石衬底、 碳化硅衬底、 硅衬底等等。 这导致 GaN 基材料与异质衬底之间的热膨胀系数、 晶格系数的不匹配， 从而 GaN 基材料中缺陷密度很高， 一般在 105～108/cm2 量级。 高密度的缺陷直接导致光电器件发
安徽工业大学
2021-04-14
高端薄膜材料生长系统
"专门针对实验室对小样品的生长需求，设计小型紧凑的生长腔室、样品台，同时降低购买价格与运行成本。 紧凑的生长腔室 （内径 ~ 300 mm）：内表面积小，更容易实现超高真空，整体占地面积不到1㎡。 电子束加热的小样品台：定向加热，降低了传统灯丝热辐射加热的耗散，保证了较低的环境温度，对真空有利。同时加热速率很快。 30多个标准法兰接口：可扩展性好。 小样品托（18 *12 mm）：刚好适合10 mm左右样品，同时兼容ARPES，STM等标准样品托。"
南京大学
2021-04-10