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半导体光刻胶成膜树脂制备技术
1.痛点问题 光刻胶作为集成电路制备中不可或缺的一部分,已成为国家的战略资源之一。半导体光刻胶的核心在于成膜树脂,受限于研发难度大、专利壁垒高、资金投入多、准入门槛高,目前国内企业尚难以突破KrF胶(248nm)或ArF胶(193nm),而EUV胶完全不能自主供给。 2.解决方案 本项技术采用了国际最前沿的纳米氧化物团簇材料的工艺路线,可以实现单2nm小分子的光刻胶成膜树脂材料,攻克了材料合成和纳米材料提纯的难题,可满足目前半导体3nm制程节点的技术要求,RLS分辨率、边缘粗糙度、灵敏度三项关键性能指标优异,其曝光剂量远低于Intel公司提出的20mJ/cm2的成本线。此外,本项技术具有多种半导体光刻胶兼容性,可以生产248nm和193nm光源的半导体光刻胶成膜树脂,以及电子束半导体掩膜用光刻胶成膜树脂,具有广阔的技术替代优势和市场应用前景。 3.合作需求 本项技术已设立衍生企业,位于江苏常州的3000m2研发生产中心正在建设中。 1)融资需求:本轮天使轮融资6000万元。 2)资源对接需求:集成电路芯片制造、掩膜板生产企业,地方政府等。
清华大学 2022-07-12
以石膏为原料制备活性碳酸钙
成果简介以化学石膏为原料, 加入碳酸钙活化剂和碳酸氢铵研磨, 用水洗涤沉淀物后干燥, 得到粒径 0.2-5 微米活性碳酸钙产品, 滤液蒸发结晶后得到硫酸铵固体。成熟程度和所需建设条件已完成工业化生产小试。技术指标活性碳酸钙球形, 0.2-5 微米。市场分析和应用前景活性碳酸钙是 80 年代后期发展起来的一种新型超细固体材料, 作为无机填料现已广泛应用于橡胶、 塑料、 造纸、 涂料、 油墨等工业产品中。
安徽工业大学 2021-04-14
硅基薄膜太阳能电池制备技术
本项目采用隧道结技术实现叠层太阳能电池的制备,扩展电池的光谱收集范围,提高电池的转换效率。 一、项目分类 关键核心技术突破 二、成果简介 太阳能是大自然赐予人类最清洁,最丰富的能源资源,目前商用的太阳能电池以晶体硅电池为主,由于晶体硅消耗硅料较多,近年来人们一直致力于开发硅薄膜电池。非晶硅薄膜电池已经实现了商业化生产并有了一定的市场份额,但它仍存在不足之处,包括光致衰减效应和转换效率不高(约6%)等。本项目在国家863计划课题(2006AA03Z219)支持下,开展了以多晶硅薄膜、微晶硅薄膜和纳米晶薄膜的制备和相关材料的单结与叠层硅基太阳能电池关键技术研究,已经申请发明专利5项,发表科研论文20余篇。 三、创新点以及主要技术指标 1.利用LPCVD方法和自扩散技术生长多晶硅p-n结,结合层转移技术制备多晶硅薄膜太阳能电池; 2.采用金属诱导晶化和快速热处理技术实现优质多晶硅薄膜的制备并在低温下制备太阳能电池; 3.在PECVD和HWCVD生长硅薄膜时,通过生长温度,气体流量,氢气稀释比,腔室气压等参数实现微晶硅或者纳米晶薄膜的生长; 4.采用双层膜技术减小表面处入射光的反射并实现表面钝化,提高入射光的收集率和少数载流子寿命; 5.采用高低结结构增加光生载流子的收集效率; 6.采用隧道结技术实现叠层太阳能电池的制备,扩展电池的光谱收集范围,提高电池的转换效率。 四、知识产权及获奖 国家863项目(2006AA03Z219)
南京航空航天大学 2022-08-12
硅热法高性能镁制备工艺过程优化
项目研究内容: 镁及镁合金是迄今在工程中应用的最轻金属结构材 料,其比强度高、且具有优良的消震吸湿和电磁干扰屏蔽性能。镁的深加 工和镁合金的推广应用都离不开质优价廉的镁。 硅热法是一套复杂而高效 的工艺,本项目通过全面研究还原过程, 严格控制煅烧质量、 配料及制团, 在大量的皮江法炼镁硅热还原工艺参数与生产效率和出镁率关系的试验 基础上,利用人工神经网络和遗传算法等人工智能技术优化工艺过程,达
南昌大学 2021-04-14
新型太阳能电池材料及制备技术
我们开发成功的新型,高效,低成本的可见光响应型太阳能电池,其发电原理完全不同于现在使用的硅太阳电池,以模拟植物的光合作用作为原理,也区别于现在研究的色素增感型太阳能电池,材料费仅为非晶硅太阳能电池的十分之一,因此也叫做“光合成模拟型太阳能电池”。成功合成了在可见光领域动作的氧化物半导体光催化剂,从根本上解决了可见光响应型光电极材料。这一成果发表于《Nature》杂志,并开发出一系列新型光催化剂,在更宽的可见光领域(至600nm)有反应,已申请了多项发明专利。该成果可解决偏远地区人民的照
南京大学 2021-04-14
碳纤维复合材料 AUV 壳体制备技术
项目背景: AUV 是新一代水下机器人,具有活动范围大、 机动性好、安全、智能化等优点,是完成各种水下任务(民用和 军用等)的重要工具。配备复合材料的 AUV 耐压舱体在满足强度 和稳定性要求下,可增大壳体内部容积,减小壳体重量,增大 AUV 的航程,提高 AUV 的综合性能,因此,进行 AUV 耐压壳体设 计有着重要的意义。 所需技术需求简要描述:1.适用于深海工作深度 2000 米以 上无人潜航壳体的新型耐压复合材料及其成型工艺与产业化制 备技术。2.开发的新型复合材料耐压壳体应具有强度高、模量大、 密度小、尺寸稳定性好、线膨胀系数低、耐海水、耐酸、耐溶剂 腐蚀等特性,外压应不小于 20MPa,内压不小于 80MPa,满足深 海无人潜航器壳体的制造要求,并可进行健康诊断。  对技术提供方的要求:1.可用于 2000 米以上深海作业的无 人潜航器壳体制备材料与制备工艺;具备产业化生产的工艺技术 及量产条件; 2.新型耐压壳体,外压不低于 20MPa、内压不低 于 80MPa,可实现 1500 公里以上,50 小时以上水下连续航行和任务执行。 
青岛钜策碳材料技术研究院有限公司 2021-09-03
南丰蜜橘品质提升专用肥及制备技术
该专利提供了一种南丰蜜橘品质提升专用肥,配方合理,使用方便,它符合橘园栽培模式,依据橘园的土壤、树体养分状况,通过连续小区肥效试验和专用肥推广实验验证,解决了柑橘树体周年根系生长、新梢发生、花芽分化、果实发育过程中不同时期对养分的需求得矛盾,目前普遍使用的柑橘复合肥氮磷钾配比单一、不合理,缺乏有机质和微量元素的问题,能明显的促进柑橘高产、改善柑橘品质。该发明还提供了一种南丰蜜橘品质提升专用肥的制备方法,方法易行,操作简便,生产过程中所需要的原料来源广泛易得,加工过程较为简单,前期投入相对较少,生产成本低;生产灵活性大,产品的品位调整简单容易;通用性强,采用的原料均为固体,对材料的依托性不强;环境友好,因为是对基础肥料的二次加工过程,因此不存在环境污染的问题;由于中国目前的基础肥料大部分为粉粒状,因此,易于推广生产。 市场预期:该发明的柑橘专用配方肥更适用于南丰蜜橘柑橘园,果实果面光洁,有典型的橘红色,口感化渣,果实商品性好。 成果完成时间:2014年12月
华中农业大学 2021-01-12
年产吨级金属纳米粉体连续制备技术
自行设计高真空等离子体气相蒸发金属纳米粉体连续制备系统,在纳米金属粉体制备的质量提高、产率提高和成本降低等方面具有较大优势。已实现平均粒度在15~300nm的金属Cu、Ni、Fe、Ag、Sn、Bi、Zn、Co、Si、不锈钢及高均匀混合性Cu-Ni-Sn等金属粉体的产业化生产,已建立了产业化生产基地。其创新点:采用高真空度、多枪结构、最新的等离子体电源组合技术;采用粒子控制器、引入纳米粉体分级系统;解决了金属纳米粉体的钝化、真空储存和设备与后续产品生产设备的连接等问题。
南京工业大学 2021-01-12
热致相分离法制备PVDF膜技术
本技术关键是开发合适的铸膜液配方和确定合适的纺丝工艺参数。我们通过研究PVDF/稀释剂体系的相分离行为、聚合物与稀释剂、稀释剂与凝固浴之间的作用关系,开发了高强度、高通量、耐污染PVDF膜的制备技术,制备的PVDF膜广泛应用于水处理、食品加工、化工分离等领域。
南京工业大学 2021-01-12
膜法中成药制备新工艺技术
本成果采用陶瓷超微滤膜、纳滤膜等分离技术的单项或者集成设计方法,替代中药传统的醇沉工艺和多效蒸发工艺,实现中药组分的纯化和浓缩。关键之一在于根据中药浸提液的构成,优化设计和生产陶瓷膜元件,优选必要的高分子超滤膜或者纳滤膜。所生产的膜分离装置采用了多项专利技术,能提高有效组分得率和产品液的澄清度,降低原材料成本,高效节能、显著降低废液排放量、消除溶剂对环境的污染。 专利情况: 成熟度:量产 合作方式:技术服务 创新要点:采用陶瓷超微滤膜、纳滤膜等分离技术替代传统的醇沉发,不但减少了药物有效成分损失、提高产品质量,而且缩短了生产周期、降低生产成本,并易于工业化放大。 技术指标:本技术具有我国资源特色,在国内外均属首创,形成了具有我国自主知识产权的成套技术与装备。可根据中药厂需要,提供不同提取工艺及装备,该成果已有20多个工业化成功应用案例。例如在敖东制药公司,采用陶瓷膜技术进行血符口服液的生产,与传统的醇沉工艺相比,节约乙醇消耗70%以上,生产周期节约30%。
南京工业大学 2021-01-12
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