已有样品/n针对产业界对MEMS 代工的迫切需求，微电子所科研人员以高精度三轴加速度计开发为牵引展开攻关，致力于在现有8 英寸硅工艺线上实现与CMOS 工艺兼容的通用MEMS 加工平台技术，成功开发出大深宽比MEMS 结构刻蚀、MEMS 与ASIC 晶圆堆叠、TSV 电学连接及晶圆级盖帽键合封装等关键工艺技术的量产，最终实现了TSV的ASIC 晶圆、MEMS 结构晶圆及盖帽晶圆的三层键合工艺，并顺利交付首款三轴加速度计产品。

本发明公开了一种基于 GPU 加速的 DEM 超分辨率方法。包括： (1)利用插值方法将低分辨率 DEM 学习数据扩充 K 倍，使其与高分辨 率 DEM 学习数据达到同一尺度；同时将待重建的 DEM 数据通过相同 的插值方法扩充 K 倍，得到低分辨率 DEM 重建数据；(2)分别将高分 辨率 DEM 学习数据、低分辨率 DEM 学习数据和低分辨率 DEM 重建 数据分为一系列大小为 N×N 的相互重叠的区域块；(3)对低分辨率 DEM 重建数据的每一个区域块，在低分辨率 DEM 学习数据中进行相 似

本实用新型公开了一种应用于超声加速疲劳试验的生理环境模拟装置，包括变幅杆和内部充满模拟体液的环境管，所述变幅杆一端置于环境管内，其中，变幅杆置于环境管内的一端连接待测件，另一端能够与超声加速疲劳试验装置相连。该装置通过模拟人体生理环境，能够准确测试出金属植入材料在人体环境中的超高周疲劳性能。

Ø  成果简介：利用高速旋转的转子产生的高离心力对在高承载环境下使用的器件进行加载试验，采用成熟试验技术方法和检测手段，实现对微小型机械结构件和电子器件、加速度传感器在高承载环境下的高载荷试验和标定。该设备最高加速度实验值：8万g，最高加速度标定值：1万g，实验对象最大回转半径：50mm，加速度实验精度：3%，标定精度：6%，实验对象尺寸：实验件最大尺寸长度≤18mm，实验件三维尺寸处于直径D=18，高度H=15的圆柱体范围里。适合钢、铝及铜质等各种材质加工的，在高承载环境下工作

本发明公开了一种交联聚乙烯中压电缆水树加速老化方法，包 括如下步骤：选取交联聚乙烯中压电缆，拆下金属屏蔽层；剥离电缆 两端的外半导体层，将剥离外半导体层后的电缆两端作为预留沿面， 剩余部分为电缆有效段；用针或钻头刺入电缆有效段的交联聚乙烯电 缆绝缘，制造缺陷，在电缆有效段的外半导体层上缠缚金属屏蔽层； 在金属屏蔽层上连接引出线；用套管包覆电缆有效段，套管两端分别 做阻水处理，套管内填充盐溶液，引出线伸出套管；将电缆线芯接地，引出线接高压电源，即可对电缆进行老化。该方法试验装置简单，电 缆样品易制，老

技术亮点 ❖ 单轴/双轴测量； ❖ 超宽测量范围：±180°； ❖ 卓越的测量精度，0.01°（全量程）； ❖ 工业级可靠性设计； ❖ 符合严苛工业环境应用要求； ❖ 多种标准输出接口，便于系统集成与扩展。   应用范围 该系列产品特别适用于：建筑结构健康监测（古建筑、历史遗迹、危房等）、工业自动化控制系统以及高精度角度测量应用场景需要长期稳定监测的工业现场。   产品介绍 STS标准输出型倾角传感器是瑞惯科技专注于工业自动化控制领域而研发的产品。该产品采用紧凑型工业设计，配备RS485/RS232标准串行通信接口，集成高性能MEMS倾角传感单元和24位高精度差分A/D转换器，结合五阶数字滤波算法，可实现水平面倾斜角与俯仰角的高精度测量。 凭借其优异的测量精度、可靠的工业级性能和灵活的配置方案，STS标准输出型倾角传感器已成为工业测量领域的高性能解决方案。   性能参数 STS 条件 参数 测量范围 - ±10° ±30° ±60° ±90° ±180° 测量轴   - X Y轴 X Y轴 X Y轴 X Y轴 X轴 分辨率1） - 0.001° 精度 最大绝对误差2） 室温 0.01° 0.01° 0.015° 0.02° 0.02° 均方根值误差3） 室温 0.008° 0.008° 0.008° 0.009° 0.009° 零点温度系数4） -40～85℃ ±0.0005°/℃ 灵敏度温度系数5） -40～85℃ ≤0.01%/℃ 上电启动时间   0.5S 响应频率 20Hz 输出信号 TTL / RS232 / RS485可选 通信协议 串口通讯协议 / MODBUS RTU协议 可选 电磁兼容性 依照EN61000和GBT17626 平均无故障工作时间 ≥99000小时/次 绝缘电阻 ≥100兆欧 抗冲击 100g@11ms、三轴向(半正弦波) 抗振动 10grms、10～1000Hz 防水等级 IP67 电缆线 标配2米M12航空插头带PVC屏蔽电缆线，线重≤120g 重量 ≤150g(不含电缆线) 1) 分辨率：在有效量程内可识别的最小角度变化量，反映其对微小倾角波动的监测能力。 2) 最大绝对误差（MAE）：全量程范围内，对多个标准角度点进行测量，各测量值与实际角度值偏差绝对值的最大值。该参数表征产品在最不利情况下的测量偏差极限。 3) 均方根误差（RMSE）：量程范围内，对固定角度点进行多次重复测量（采样次数≥16次），计算各测量值与实际角度值偏差的均方根值。该参数反映测量结果的重复性与稳定性，是评估系统随机误差的重要指标。 4) 零点温度系数：传感器在零输入状态下，其输出值随温度变化的比率，定义为额定工作温度范围内零点偏移量与常温基准值的比值。   5) 灵敏度温度系数：传感器满量程输出值随温度变化的稳定性指标，表征额定温度范围内灵敏度相对于常温参考值的漂移率。

本发明提供了一种基于加速度响应结构灵敏度计算方法，构造加速度频响矩阵，并获得前m阶模态频率，从结构第一个节点开始添加刚度摄动项，将加速度频响矩阵代入矩阵修正公式获得摄动后的加速度频响矩阵，辨识结构的频率，获得结构模态频率对刚度的灵敏度，按照节点顺序改变刚度摄动点位置获得对应的灵敏度，从而获得整个结构模态频率对刚度的灵敏度。本发明当结构的刚度发生摄动时，利用矩阵变换公式无需进行有限元再次计算，只需要初始的加速度频响信息进行数值计算即可获得摄动后的加速度频响函数，简化计算效率，无需再进行有限元计算，更加方便，实现了基于加速度频响函数对刚度的灵敏度快速计算方法，具有实际工程意义。